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综述纳米晶软磁材料及其制备 摘要 ：本文首先回顾了纳米晶软磁材料的发展过程，对其中的铁 基纳米晶材料的制备进行了介绍，并介绍了纳米晶软磁材料的特点与 磁特性，最后对纳米晶软磁材料的发展趋势作了展望。 关键词 ：纳米晶，软磁材料，制备，铁基合金 The review of fabrication of Nano-Crystalline Soft Magnetic Material Abstract: The developing process of nano—crystalline soft magnetic material is reviewed in the beginning of this paper. Introduce the fabrication of Fe-based alloys and A detailed discussion is carried out on its characters and magnetid prop—erties and The developing trends is prospected at last ． Key words: Nano-Crystalline Soft Magnetic Material fabrication Fe-based alloys 1 引言 软磁材料在工业中的应用始于十九世纪末。随着电力工业及电讯 技术的兴起，开始使用低碳钢制造电机和变压器，在 电话线路中的 电 感线圈的磁芯中使用了细小的铁粉、氧化铁、细铁丝等。到二十世纪 初，研制出了硅钢片代替低碳钢，提高了变压器的效率．降低了损耗。 直至 在，硅钢片在电力工业用软磁材料中仍居首位。到二十年代，无 线电技术的兴起，促进了高导磁材料的发展，出 了坡莫合金及坡莫 合金磁粉芯等。从四十年代到六十年代，是科学技术飞速发展的时期， 雷达、电视广播、集成电路的发明等，对软磁材料的要求也更高，生产 出了软磁合金薄带及软磁铁氧体材料。进人七十年代，随着电讯、自 动控制、计算机等行业的发展，研制出了磁头用软磁合金，除了传统 的晶态软磁合金外，又兴起了另一类材料一非晶态软磁合金。八十年 代以来，由于计算机网络和多媒体技术，高密度记录技术和高频微磁 器件等的发展和需要，越来越要求所用各种元器件高质量、小型、轻 量，这就要求制造这些器件所用的软磁合金等金属功能材料不断提高 性能，向薄小且高稳定性发展[1]。正是根据这种需要，1988 年日本的 Yoshizawa 等人首先发 ，在 Fe—Si—B 非晶合金的基体中加人少量 Cu 和 M(M =Nb， Fa ，Mo，W 等)，经适当的温度晶化退火以后，可获 [2] 得一种性能优异的具有b ．c．c 结构的超细晶粒(D 约 10nm)软磁合金 。 这时材料磁性能不仅不恶化，反而非常优良，这种非晶合金经过特殊 的晶化退火而形成的晶态材料称为纳米晶合金。其典型成份为 Fe Cu Nb Si B ，牌号为 Finemet。其后，Suzuki 等人又开发出了 73.5 1 3 13.5 9 Fe—M —B(M= Zr，Hf，Ta)系。到目前为止，已经开发了许多纳米晶 软磁材料，包括：Fe 基、Co 基、Ni 基[3]。由于 Co 基和 Ni 基易于形成 K、λs 同时为零的非晶态或晶态合金，如果没有特殊情况，实用价值不 大。故本文主要介绍铁基纳米晶软磁合金。 铁基纳米晶合金是以铁元素为主，加人少量的 Nb 、Cu、Si、B 元 素所构成的合金经快速凝固工艺所形成的一种非晶态材料，这种非晶 态材料经热处理后可获得直径为 l0—20 纳米的微晶，弥散分布在非 晶母体上，被称为微晶、纳米晶材料或纳米晶材料。纳米晶材料具有 优异的综合磁性能：高饱和磁感(1.2T)、高初始磁导率(8 万)、低 Hc(0.32A／M)， 高磁感下的高频损耗低(P0.5T／20kH =30W／kg) ，电阻 率为 80 微欧厘米，比坡莫合金(50—60 微欧厘米)高，经纵向或横向磁