文件SEM-EDX培训材料1.pptVIP

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2020-07-22 发布于湖北
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文件SEM-EDX培训材料1.ppt

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优选 * 优选课件课件课件课件课件课件课件课件课件课件课件课件课件课件优选 SEM/EDX 介绍 GQA SEM/EDX 介绍优选一：SEM/EDX基本原理二：样品制备三：参数选择 SEM/EDX 介绍优选一：SEM/EDX/EDS 介绍 SEM: Scanning Electron Microscope 扫描电镜 EDX: Energy Dispersive X-Ray Spectrometer 能量色散X射线光谱仪 EDS: Energy Dispersive Spectrometer 能量色散光谱仪优选 SEM/EDX基本原理 1. X射线产生原理： X射线的产生是由于入射电子和样品发生非弹性碰撞的结果。当高能电子与原子作用时, 它可能使原子内层电子被激发, 原子处于激发状态, 内层出现空位。此时,可能有外层电子向内层跃迁,外层和内层电子的能量差就以光子的形式释放出来,它就是元素的特征X射线。光谱仪接受此特征X射线的光子，进行元素含量分析。优选 SEM/EDX基本原理入射电子轰击样品原子,产生二次电子,X射线和背散射电子。入射电子从样品原子电子壳内层反射出来二次电子。入射电子从样品原子电子壳内层散射出来背散射电子。入射电子与样品的原子作用，原子外层电子向内层跃迁,产生X射线。优选 SEM/EDX基本原理入射电子与试样作用,产生二次电子,背散射电子，X射线。试样深层产生的二次电子被试样吸收,只有试样在表面产生的二次电子能被检测到。背散射电子和X射线发生在比二次电子深层的地方。二次电子在离试样表面10nm地方产生,背散射电子在离表面300nm的地方产生,X射线在离试样1000nm的地方产生。优选 SEM/EDX基本原理 SEM原理：电子枪内灯丝加热产生电子，电子束通过阳极改变，通过聚光镜和聚光镜光栏控制电流和分辨率，由物镜聚焦电子探头，物镜光栏逐级改变探头大小。由扫描线圈扫描试样形成图像。优选 SEM/EDX基本原理能谱仪中EDX检测器、二次电子检测器和半导体背散色电子检测器，接受入射电子与试样产生的X射线、二次电子和背散色电子进行SEM/EDX分析。优选 SEM/EDX基本原理 EDX分析：能谱仪中EDX检测器接受入射电子与试样产生的X射线, 进行EDX分析。特征X射线以光谱线显示，EDX自动辨认元素。右下图是IC试样的光谱线图。优选 SEM/EDX基本原理每种元素都有特定的X射线, 并对应相应的X射线能量, 如上表所示。优选 * 优选课件课件课件课件课件课件课件课件课件课件课件课件课件课件课件