电容式传感器的应用 课件.pptVIP

复习总结 与电阻式、电感式传感器相比的 优点 ： 第 3 章 电容式传感器 1. 测量范围大： 相对变化量可达 100% 。 2. 灵敏度高： 可达 10 -7 。 3. 动态响应时间短： 可动部件质量小，固有频 率高，适合于动态信号的测量。 4. 机械损失小： 电极间引力小，无摩擦，热效 应小，因此，精度高。 5. 结构简单，适应性强： 金属做电极，无机材 料绝缘支撑，能承受大的温度变化和强辐射， 适合于恶劣环境工作。 1 PPT 课件 复习总结 与电阻式、电感式传感器相比的 不足之处 ： 第 3 章 电容式传感器 1. 寄生电容影响大： 导线电容、泄露电容。降 低了灵敏度，非线性输出，甚至不稳定。 2. 当用变间隙原理进行测量时，具有非线性输 出特性。 由于材料、工艺，特别是测量电路及半导体集成技术等方面 已达到了相当高的水平，因此寄生电容的影响得到较好地解 决，使电容式传感器的优点得以充分发挥。 应用： 压力、位移、厚度、加速度、液位、物位、湿 度和成分含量等测量之中。 2 PPT 课件 3.4 电容式传感器的应用 第 3 章 电容式传感器 电子技术的发展，解决了电容式传感 器存在的许多技术问题，使电容式传感器 不但广泛应用于精确测量 位移 、 厚度 、 角 度 、 振动 等物理量，还应用于测量 力 、 压 力 、 差压 、 流量 、 成分 、 液位 等参数，在 自动检测与控制系统中也常常用来作为位 置信号发生器。 3 PPT 课件 1. 电容式差压变送器 3.4 电容式传感器的应用 高压侧 进气口 低压侧 进气口 电子 线路 位置 内部不锈钢膜片的位置 4 PPT 课件 1. 电容式差压变送器 3.4 电容式传感器的应用 主要讨论球、平面型差动电容压力传感器。 1 — 高压侧进气口 2 — 低压侧进气口 3 — 过滤片 4 — 空腔 5 — 柔性不锈钢波 纹隔离膜片 ( 测量膜片 ) 6 — 导压硅油 7 — 凹形玻璃圆片 8 — 镀金凹形电极 9 — 弹性平膜片 ( 感压膜片 ) 10 — ? 腔 5 PPT 课件 1. 电容式差压变送器 3.4 电容式传感器的应用 主要讨论球、平面型差动电容压力传感器。 凸玻璃圆片 弹性膜片 ( 动电极 ) 固定电极 P L P H 6 PPT 课件 1. 电容式差压变送器 3.4 电容式传感器的应用 当 P H = P L 时，中心膜片处于平直状态，膜片两侧电容均为 C 0 ； 当 P H P L 时，中心膜片上凸，上部电容为 C L ，下部电容为 C H 。 C H 相当于当前膜片位置与平直位置间的电容 C A 和 C 0 的串联；而 C 0 又可看成是膜片上部电容 C L 与的 C A 串联。 d x d 0 C A C L C H C 0 P H P L C A C L C H C 0 C 0 C A 等效电路 7 PPT 课件 1. 电容式差压变送器 3.4 电容式传感器的应用 d x d 0 C A C L C H C 0 P H P L C A C L C H C 0 C 0 C A 等效电路 0 0 0 ; A L L A A L A C C C C C C C C C C ? ? ? ? ? 即： 需要解决的问题是： 中心膜片处于平直状态时， C 0 = C ( d 0 )=? ；当 P H P L 模片上凸 d b 时， C A = C ( d x )=? 。 0 0 A H A C C C C C ? ? 8 PPT 课件 1. 电容式差压变送器 3.4 电容式传感器的应用 R b a d b d 0 实线为球冠型固定 电极 设膜片半径为 a ，球冠形固定 电极的半径为 R ，固定电极的 实际拱底半径为 b ，拱底距膜 片的距离为 d b ，当 d 0 R 时： 0 0 2 ln b d C R d ?? ? 在 P H - P L 作用下 , L H L H L H A P P k P P b a a ln T b a a ln P P T C ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?