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材料成分分析综合性实验
一、实验目的
1、了解 IRIS Intrepid II XSP 型等离子体光谱仪的基本原理和操作。
2、了解 XRF9 能量色散 X 射线荧光分析仪的基本原理和操作。
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二、实验设备
XRF9 台 式 能 量 色 散 X 射 线 荧 光 分 析 仪
IRIS Intrepid II XSP 型等离子体光谱仪
三、实验原理
(一)、能量色散 X 射线荧光分析仪
(1)、基本原理
当能量高于原子内层电子结合能的高能 X 射线与原子发生碰撞时,驱逐一
个内层电子而出现一个空穴, 使整个原子体系处于不稳定的激发态, 激发态原子
寿命约为 10 12 ~ 10 14 s,然后自发地由能量高的状态跃迁到能量低的状态。这个
过程称为驰过程。 驰豫过程既可以是非辐射跃迁, 也可以是辐射跃迁。 当较外层
的电子跃迁到空穴时, 所释放的能量随即在原子内部被吸收而逐出较外层的另一
个次级光电子, 此称为俄歇效应, 亦称次级光电效应或无辐射效应, 所逐出的次
级光电子称为俄歇电子。 它的能量是特征的, 与入射辐射的能量无关。 当较外层
的电子跃入内层空穴所释放的能量不在原子内被吸收, 而是以辐射形式放出, 便
产生 X 射线荧光,其能量等于两能级之间的能量差。因此, X 射线荧光的能量
或波长是特征性的,与元素有一一对应的关系。
K 层电子被逐出后 ,其空穴可以被外层中 任一电子所填充,从而可产生一系
列的谱线,称为 K 系谱线:由 L 层跃迁到 K 层辐射的 X 射线叫 K α射线 ,由 M
层跃迁到 K 层辐射的 X 射线叫 K β射线……。
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同样,L 层电子被逐出可以产生 L 系辐射。如果入射的 X 射线使某元素的 K
层电子激发成光电子后 L 层电子跃迁到 K 层,此时就有能量 ΔE 释放出来,且
ΔE=EK-EL ,这个能量是以 X 射线形式释放,产生的就是 K α 射线,同样还可
以产生 K β射线 ,L 系射线等。 莫塞莱 (H.G.Moseley) 发现,荧光 X 射线的波长
λ与元素的原子序数 Z 有关,其数学关系如下: K (Z s) 2 ,这就是莫塞莱
定律,式中 K 和 S 是常数, 因此,只要测出荧光 X 射线的波长 ,就可以知道元素的
种类 ,这就是荧光 X 射线定性分析的基础。 此外 ,荧光 X 射线的强度与相应元素的
含量有一定的关系,据此,可以进行元素定量分析。
(2 )、能量色散 X 射线荧光分析仪工作原理
X 光管发射的 X 射线,经过
滤光片后,X 射线的背景射线被滤
光片吸收而减弱,然后经准直器
变成平行光束, 照射在样品上. 样
品受到激发,随即产生含有被测
元素的特征 X 射线荧光的复合光
束.再经过准直器的准直进入半
导体探测器,探测器本身具有能
量分辨能力,可以甄别样品所有
发射的不同能量特征的 X 射线荧
光,探测器输出的信号经放大器
的放大后入运算装置,由于探测器输出的信号与入射的 X 射线荧光的能力成正
比,因此可以得到定时、定量分析的能量谱图。
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