TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介《精选》.pptVIP

* * * * * * * TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介 优选文档 * Contents 减薄的作用 1 减薄工艺简介 2 常见的减薄不良 3 优选文档 * 减薄的作用 1.减少占有的空间 2.使Glass达到一定的柔性 优选文档 * 减薄工艺简介 用酸碱对Glass进行刻蚀，从而达到减薄的目的。 防止酸碱溶液从边缘处进入液晶盒内，破坏封框胶，进入Cell内部，影响产品性能。 获得光亮、平整的表面。 封胶 减薄 研磨 优选文档 * 封胶 封胶工艺 防止强酸破坏Cell封框胶以及进入Cell内部 1. 加盖遮光垫 2.涂胶 3.擦胶 4. UV固化 UV胶 破坏TFT结构 一般在这之前还会进行检查。 涂胶后静置1min。 清除多的UV胶。 UV固化后检查 优选文档 * 封胶 UV固化 UV灯 GLS 边框胶 涂胶后检查 涂胶 加盖遮光垫 优选文档 * 原理及方式 单片直立喷洒 瀑布流 多片直立浸泡 原理 1 2 3 4 减薄原理及方式 6HF+SiO2-H2SiF6+2H2O 液体+固体（玻璃）-液体 优选文档 * 单片直立喷洒 瀑布流 多片直立浸泡 优点： 1.可以同时间处理多片玻璃。 缺点： 1.装置大型。 2.外围产生沉淀物,白色粉沫，容易粘附在Glass上。 优点： 1.可以满足两面不同蚀刻要求。多片缺点： 1.蚀刻表面易产生凹点。 优点： 1.表面最光滑，甚至可以不用抛光 三种方式优缺点 优选文档 * Text in here 蚀刻 清洗 清洗 减薄流程 Slimming 优选文档 * 优选文档 减薄设备 其余组件： 供酸装置 HF酸浓度计 温度控制器 洗气装置 Loader单元 预清洗单元 蚀刻单元 清洗单元 干燥单元 Unloader单元 * 优选文档 减薄工艺参数 1.反应时间与玻璃质量损失的关系 图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系 * 优选文档 减薄工艺参数 2.反应速率与反应温度的关系 图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系 * 优选文档 减薄工艺参数 3.反应速率与HF酸浓度的关系 图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之间的关系 说明： (HF)2是HF酸溶液中的最主要活性成分，因为以氢键形式存在的H－F键比HF分子中的H－F键更脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。 * 优选文档 减薄清洗单元（后） DI浸泡 碱浸泡 酸浸泡 DI浸泡 a. 5-10% NaOH b. 45℃鼓泡 C. 10min a. 3% HCl b. 或常温 C. 1min a. DI水 b. 常温 C. 5min a. DI水 b. 常温 C. 5min 清洗 * 清洗 外观检查 Polishing 外观检查 Reject Item 自动研磨 手动研磨 Picture 适应产品 无破损产品 所有产品 可修复不良 不良率高发，严重不良 不良率较低的轻微不良 CAPA Q-panel抛光，效率高 针对单点不良修复，效率低 研磨 15 优选文档 * 优选文档 减薄工艺自身不良 1.不可擦拭脏污 2.薄化不匀 * 优选文档 减薄工艺自身不良 玻璃本身含有杂质. 1. 除胶未干净，有残留 2. PT等未清洗干净 1. 设备故障（Conveyer） 2.瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式） 3.Nozzle堵塞（喷淋式蚀刻方式） 玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一致 工艺设备 玻璃表面 玻璃本身 * 优选文档 Slimming后划伤 Slimming前发生轻微Scratch Slimming后Scratch程度加重 Human eye invisible Slimming * LOGO 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 * * * * * * * * * * * * * * * * * * LOGO 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 优选文档 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * *