TFT相关中英文对照表打印版.pdfVIP

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2020-08-12 发布于广东
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TFT相关中英文对照表打印版.pdf

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学海无涯工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称版号： 1.0 总页数： 23 制定部门：生效日期：年月日拟制：审核：标准化：会签：批准：发布实施 1 学海无涯更改状态更改内容更改人更改日期一．TFT 工艺流程中英文标准名称 Array Process Flow 阵列段工艺流程 Unpacking 拆包装 Input Initial clean 预备清洗投料 Particle count 尘埃粒子测试 Clean before depo 成膜前清洗 Gate （Mo/Al alloy ) Film depo 栅电极成膜 RS meter 电阻测量 Macro Inspection 宏观检查 Clean before PR 涂胶前清洗 Pre bake 预烘 PR Coating 光刻胶涂布 PR vacuum dry(VCD) 光刻胶低压干燥 PR soft bake 前烘 Expose 曝光 Titler Expose/Edge Expose 打标/边缘曝光 Gate Develop 显影栅电极层 PR hard bake 坚膜 ADI 显影后自动光学检查 Mic/Mac Inspection 宏微观检查 CD after develop 显影后关键尺寸检查 Total pitch 长寸测量 Gate Wet etch 栅电极湿刻 Contact angle 接触角测量 PR strip 光刻胶剥离 CD