硅微工艺湿法刻蚀常见材料刻蚀剂和刻蚀速率[整理].pdfVIP

各种材料的腐蚀剂和腐蚀速率 材料 腐蚀剂 腐蚀速率 Si HF+HNO3+H2O 最大 490um/min 2 4 SiO NHF 150g 23℃时μ m/min HF(40%) 70mL HO 150mL 2 3 4 Si N 49% HF 23℃ LPCVD PECVD 85% H3 PO4 155 ℃ min 85% H3 PO4 180 ℃ min