直拉硅单晶工艺简介讲课讲稿.pptVIP

直拉硅单晶工艺简介;稳定;引晶;放肩;转肩;等径;收尾;停炉冷却;取晶棒;工艺参数;压力化/熔料;稳定化/熔接;引晶;放肩;转肩;等径;收尾;停炉;主要内容;掉棒; 该情况可能会直接导致石英埚破裂引发漏硅事件。该情况发现应注意以下几点: 一、晶棒过长，停炉处理 1、立即停止埚转,将控制面板转为手动。 2、关闭加热电源.保持真空泵运转。 3、尽量开大氩气流量，尽量开小碟阀开度。保持炉内压力尽量高，氩气流通量尽量大.使炉内温度迅速下降。 二、长度小于300mm长，视情况而定，可以选择回熔。 1、停止埚转，观察炉内情况 2、进入回熔工艺 ;异常处理;异常处理;一、熔料时，出现打火 产生的原因：1、掉料 2、热场未装好 3、热场未清理干净，电阻不过 二、运行中出现打火 产生的原因 1、漏料 2、石墨坩埚与加热器之间有接触 3、石墨部件出现断裂，接触面不紧密 1、加热器电阻偏低，