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《真空系统设计》之四 抽气时间与压强的计算 东北大学 acuum北大学高空与源体工程研究中 抽气时间与压强的计算 °真空技术基本方程 亚稳态流动条件 泵的有效抽速 真空系统抽气方程 ·抽气时间计算 低真空抽气时间计算 高真空抽气时间计算 抽气过程中容器内压强的计算 acuum 东北大学真空与济体工程研究中息 真空技术基本方程 真空系统最主要的性能参数: ◆极限真空度:是指在没有外加负荷的情况下, 经过足够长时间的抽气后,系统所能达到的最 低压力 ◆有效抽速:是指在容器出口处的压力下,单位 时间内真空系统能够从被抽容器中所抽除的气 体体积。真空系统对容器的有效抽速不仅取决 于真空泵的抽速,也取决于真空系统管路对气 体的导通性能,即所说的流导。 ◆抽气时间:是指从大气压抽空到所需压强为止 的时间 acuum 大学真空与 真空系统抽气的亚稳态流动条件 ◆真空系统在抽到所需要的真空度之前,都处于 压强逐渐降低的过程中,即系统内的压力随时 间变化 过程属手非稳态过程,其中的 体流动属于非稳定流动。当抽除的气体流量等 系统中的放气流量时,系统内各处的压强不 在变化,即稳定流动。 ◆计算抽气时间一般指从大气压开始抽空到所需 压强为止的时间,这一过程属于非稳定流动过 程,需要求解复杂的微分方程,比较困难,因 此人们把满足一定条件的非稳定流动近似看做 为稳定流动来计算,称为亚稳态流动9 A·L ◆如果真空系统满足以下 两个条件,抽气过程为 容器容积; 亚稳定流动的过程 一泵的抽速 (1)容器的容积大于 管道的截面积 管道的容积。 L—一管道的长度 (2)抽气过程进行的 管道的流导 很慢 容器的时间常数; 管道的时间常数 北大学真空与济体工程研究中息 泵的有效抽速 如果用Se来表示真空系统对容器的有效抽速,用 j表示真空泵的抽速,C表示真空容器出口到真 空泵入口之间管路的流导,则有一 可以改写为 (a)或S (b)或S 如果知道泵的抽速Sp和管路的流导C,就可 以计算出系统对容器有效抽速,这个方程被=0 称为真空技术基本方程。 ◆有效抽速小于泵的抽速,也小于管道的流导 ◆如果管路的流导C远大于泵的抽速Sp,则Sp/C的 值远小于1,此时真空系统对容器的有效抽速 se≈Sp。这就是说为了充分发挥泵对容器的抽 作用,在设计真空系统管路时,应使管路的 流导尽可能大 因此真空管路应该粗而短一 切不可细而长。这是设计连接管道时的一条 重要原则 ◆如果管路的流导C远小于泵的抽速Sp,则C/Sp的 值远小于1,此时真空系统对容器的有效抽速 se≈C,这就是说,在这种情况下,选择多大的泵 都没有用,都不能提高泵对容器的有效抽速8 eph 40 10-210-210-1 10i0210 乐人口压力PP(x133Pa) 50-旋转泵与直径为30m长为10m的导管替配 acuum 北大学真空与济体工程研究中息 真空系统抽气方程 ◆真空泵的气体负荷主要来自真空室内的各种气 体,包括: (1)被抽容器内原有的空间大气。若容器的容积 为m,抽气初始压强为PPa,则容器内原 有的空间大气量为PPam 2)被抽容器被拍空后各种材料的放气。单位时 间内的放气流量可以用 Qf Pam3/5来示; 实验表明,材料表面单位时间内单位表面 积的放气率q可以用下面的经验公式来计算 q=f°+ Pa·m3/(m 式中:q1是抽空1h后放气速率,Pam3/(m2s); q是抽空时间无限长之后材料表面的放气速率 Pam(m2s);t是抽空时间,h;是与材料种类 及其预处理状况有关的放气时间指数,值在05 2之间变化。真室室肉暴露于真空下的构件表 面可能有多种材料,总的表面放气流量Q为 ∑A:q1fA+QPa·m3/s 式中:A是第种材料暴露在真空下的表面积,m q1是第种材料在抽空1h后的表面放气速 Pam3/(m2s);:β是第种材料的放气时间指数; Qo是抽气时间无限长后总的放气流量,Pam3/s ;t是抽空时间,h。 东北大学真空与语体工程研