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烧结炉培训材料 一、功能及用途 此烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有质成分、完成铝背场及珊线烧结。硅片在炉中， 上、下两面能同时烧结，烧结过程如下：  对第三道丝印后硅片表面浆料进行烘干；  去除浆料中的有质粘结剂；  铝背场及珊线烧结 二、烧结炉结构 炉体分为三个部分：  烘干区 烘干区包括四个加热区：ZONE 1、 ZONE 2、 ZONE 3、 ZONE 4，其中ZONE 4 为对流加热区， 位于其它三个温区上部，每个加热区温度单独可调、加热元件为电热丝，ZONE1 至 ZONE 3 （115v 830w）。ZONE 4 （230v,700w）。加热温度可设置到 500 摄氏度，但过程温度不应超过 300 摄氏度。  烧结区 烧结区包括六个加热区：ZONE 1、ZONE 2、ZONE 3、ZONE 4、ZONE 5、ZONE 6，ZONE 1~4 为预 烧结区，ZONE 5 和 ZONE 6 为主烧结区，加热元件为近红外线加热管，其中 1~4 区加热管功率 1600W，5、6 区加热管功率 2700W，每个温区温度单独可调，1~4 温区温度可设置到 700 摄氏度，5、6 温区可设置到摄氏 1050度。 冷却区 冷却区采用水冷，给水温度大约在20~25摄氏度范围内。 烘干区与烧结区之间、烧结区与冷却区之间各有一个隔离炉膛，通过风帘隔离，隔离炉膛防 相邻区域中的过程气体相互混合。 除了上述三个主要部分外，在炉体头部有上料区，在尾部有下料区，外加一个单独的冷凝器， 冷凝媒介为冷却水。 三、CAN控制系统构成 传动电机调速系统 传动电机采用三相异步电机，速度调节是采用闭环变频调速，控制框图如下： 温度控系统 温度控制采用PID控制，系统构成控制框图如下：  冷却系统  排风系统 冷却系统和排风系统很简单，都采用开环系统 四、操作  开机步骤 i. 慢速开启冷却水主给水阀，给烧结炉供水 通常各管道给水阀和流量已设定好，勿需调节 ii. 慢速开启压缩空气主阀，炉子提供过程气体，同时给各气缸提供压缩空 通常各管道流量已设定好，勿需调节 iii. 将主电源开关拨到“1”，开启主电源 iv. 启动 PC，等待机器完成自检和监控程序装入 v. 将“Drive On”拨到“1”，“Drive PC/Manual”拨到“0”，将“Heating FF”拨到“ON”， 将“HEATING HTO”拨到“ON” vi. 点击启屏幕上“Drive on/off” 收音开关，并按确认收音键，启动传送带。 vii. 如果有设置好的升温程序，顺序装入，使炉子逐步升温到过程温度。如果没有，则手动设 置，每 200 度为一阶，逐步升温到过程温度。第一次装入后，需点击加热收音开关，开始 加热。 viii. 根据工艺要求调整工艺参数，只需调整各温区温度和带速设定值。当过程值达到设定值后， 机便处于就绪状态。  关机步骤 关机步骤则与关机步骤相反，需注意：当炉温降到 100 度左右时，方可将传送带停下。 五、预防性保养  定期清洗主给水过滤器。  定期吹洗 HTO 空气过滤器。  定期清洗传送带。  定期清洗气体流量计。  定期检查并调整传送带长度。  定期检查并清洗文丘利喷嘴。 六、故障诊断与修复 监控程序几乎可以定位所有故障，当故障发生时，报警系统会发出声光报警，并可能停炉。可打开 “Alarm” 标签，察看报警信息，判断故障位置，分析故障原因，并排除故障。 常见的故障报警及处理：  空气流量过小或过大，空气压力不稳。提请设施部作解决。  压缩空气中有大量水份和油份，加大流量，排除积累在流量计中的水份，同时提请设施部设法 滤去压缩空气中的水份和油份。  冷凝器排风量过小，开大风门，同时提请设施部加大抽风量。  冷却水温度过高，提请设施降低水温。  HTO 过滤器堵塞，用