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电镀铜工序工艺规程 修订 日期 修订 单号 修订内容摘要 页次 版次 修订 审核 批准 2011/03/30 / 系统文件新制定 4 A/0 / / / 更多免费资料下载请进： 好好学习社区 批准： 审核： 编制： 电镀铜工序工艺规程 1 目的 为规范电镀铜操作，确保产品生产品质 2 范围 单面、双面及多层板均适应 3职责 操作执行：生产部 操作监督：工程、品管部 药水化验：品管部 药水添加：工程部、生产部、品管部 设备维护保养：生产部 设备维修：工程部、设备供应商 4 材料、设备和工具 4.1材料 硫酸铜、硫酸、盐酸、铜阳极、镀铜光亮剂、除油剂ST401DP、SPS 4.2设备、工具 铜缸、整流器、过滤机、摇摆机、空气搅拌机 5引用文件 无 6工艺规程 6.1工艺流程 工序 温度 时间 打气 上挂具 无 无 无 除油 30-35℃ 4-6分钟 无 水洗(1) 室温 5-20秒 适中 水洗(2) 室温 5-20秒 适中 微蚀 25-30℃ 60-90秒 适中 水洗(3) 室温 5-20秒 适中 水洗(4) 室温 5-20秒 适中 酸浸 室温 1-10分钟 无 镀铜 18－30℃ 10-20分钟 适中 下挂具 无 无 无 6.2流程说明 6.2.1上挂具：上挂具时双手戴干净的白纱手套,锁板时夹住板的周边,不要进入线路图形部位,管位螺丝适当拧紧即可。 6.2.2除油：清除板面上的油污及指纹,为下一步均匀微蚀作准备。 6.2.3微蚀：清洁粗化铜面,除掉板面氧化物及杂物,使之得到一个化学清洁的微观粗糙的表面,提高电镀铜与基材铜的结合力。 6.2.4浸酸：除掉铜面上的氧化膜及活化铜表面,并能减少杂质的带入量,防止铜缸污染。 6.2.5镀铜：采用直流电镀方法在铜面及孔内沉积5－15um铜厚,保证层与层之间电气导通的可靠性。 6.3槽液成份及操作条件 缸名 开缸成份 控制范围 操作条件 补充 方法 换槽频率 温度 时间 除油 （500L） ST401D4：10% H2SO4：5% 8-12% 4-6% 30-35℃ 4-6分钟 化验 添加 200㎡/次 微蚀 (500L) Na2S2O8：70g/L H2SO4：2% 60-90g/L 1-3% Cu2＋≤30g/L 25-30℃ 60-90秒 化验 添加 当Cu2+≥30g/L时换槽 浸酸 (500L) H2SO4：6% 5-8% 1-10分钟 化验 添加 更换微蚀槽时连同酸洗槽一起更换 铜缸 (2600L) CuSO4：75g/L H2SO4：200g/L CL－：60ppm ST404DP：4‰ 60-90g/L 180-220g/L 40-80PPM 2-5‰ 18－30℃ 电流密度：30ASF 5-20分钟 阴极摆动：15-20次/分 连续过滤，连续空气搅拌 ST404DP： 300ml/ 1000A/H 其它成份化验添加 1000㎡/活性碳处理一次 5000㎡/盘槽一次 7操作规程 7.1生产前先检查各水阀是否处于正常状态，各槽液位是否足够。 7.2取样分析各槽液成份，根据化验结果调整至标准范围。 7.3检查过滤机、摇摆、空气搅拌装置是否运作正常。 7.4上槽前先擦洗阴、阳极杆，保证导电良好。 7.5板子上槽后将管位螺丝拧紧，然后开启电流，电流一般调在稳压状态，其电流大小依生产制作单要求执行。 7.6电镀铜完成后，先关闭电流，再取下挂具清洗。 8设备维护与保养 8.1每天对镀铜前处理槽取样分析，根据化验单补加药水，补加药水时双手戴防护胶手套，以防腐蚀性药液灼伤皮肤。 8.2每天上班时检查整流器，过滤器，摇摆机、空气搅拌装置是否正常，发现故障及时维修。 8.3每天清洁阴阳极杆，保证导电良好；若停槽12小时以上，生产前需先弱电解20分钟，电流密度5ASF，每块拖缸板50A的电流。 8.4每周清洗过滤棉芯一次，2个月更换/次。 8.5每周检查阳极消耗情况，低于液面5cm时补加铜球，铜球添加前先用3-5%的稀硫酸浸泡10分钟。 8.6阳极袋口需高出液面3-5cm，如有破损及时更换。 8.7每两个月对槽液进行一次活性碳过滤，并对阳极进行清洗，活性碳过滤后更换新的棉芯，新棉芯使用前用5% H2SO4浸泡15分钟，漂洗干净后方可装入。 8.8每半年对槽液进行一次活性碳大处理。 9相关记录表格  9.1槽液分析/调配通知单 槽液分析/调配通知单 试验项目： 生产线： 通知单号： 日期： 槽号 成份 含量 要求值 结论 补充药品 数量 单位 调配者 备注 化验员： 校对： 工艺工程师： 9.2 药水添加更换记录表 药水添加更换记录表 日期 药水品名 添加量 添加