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半导体工厂超 纯水简报 Mark 22/Jul./2014 总 流 程 原水 1. 自来水由原水泵将水抽至 CUB( 中央动力厂房 ) 。 CUB 是半 导体工厂的心脏，制程用的水电 空调化学品等一般都是从这里输 出。 运行参数 ：原水一般水量为 195m3/h，最大水量为250m3/h， 水压 3bar 。 多介质过滤器 (MMF/ 砂滤） 1. 原水加 10%NaOCl 后通过热交 换器再次加 10%PAC 后进入多介 质过滤器。 2. 桶内装填石英砂和无烟煤。 3. 配有风机，定期反洗。 用途 ：主要去除不能溶解的悬浮 颗粒和胶体杂物。 运行参数 ：产水量最大为 250m3/h，压力 1.5bar ，温度 20-20 ℃。 玻璃钢水箱 (FRP 水箱 ) 1. 过滤水回收至玻璃钢水箱。 2. 过滤水箱前有两组泵（每组两 台），一组用于反清洗，一组用 于给 ACF 活性炭过滤器供水。 3. 桶身直径 5m ，桶高 5m 。 运行参数 ：出口压力为 7bar ，温 度为 20-30 ℃。 迈博瑞生物膜技术南通有限公司 活性炭过滤器 (ACF/ 碳滤） 1. 三支，内部填充颗粒活性炭。 2. 此段过滤器分为正洗与反洗， 正反洗水都回收至废水池，产水 为过滤水。 用途 ：再次处理水中不能溶解的 悬浮颗粒和胶体杂物。 运行参数 ：产水量为 200- 260m3/h，出口压力为 6bar ，温 度 20-30 ℃。 阴阳离子交换床 1.ACF 出水先经过 CIX （阴离子桶）加 HCl ， 后 AIX （阴离子桶）加 NaOH 处理， CIX 和 AIX 可以单独运行。 用途 ：处理水中的阴阳离子。 2. 冲洗水进入过滤水箱，再生水进入废水池， 出水为去离子水。 运行参数 ：产水量为207m3/h，压力为 3bar ， 温度为 20-30 ℃。 保安过滤器 (SFL) 1. 去离子水加 30%NaOH 后进入保安过 滤器。 2. 产水为去离子水。 用途 ：微滤过滤器保护后端 RO 膜，不 达标的水质和频繁清洗都会影响 RO 膜 的寿命、提升成本。 运行参数 ：280m3/h，出口压力 2.6bar ， 温度 21-30 ℃。 反渗透过滤膜（ RO 膜） 1.RO 是前段水处理的核心。 2. 达标产水进入 RO 水箱，不达标产水 进入过滤水箱，浓水进入废水池。 3. 产水为反渗透水。 运行参数 ：产水水量为248m3/h，出 水压力为 2bar ，温度为 21-30 ℃；浓水 水量为18m3/h，出水压力为 2bar ，温 度为 24-30 ℃。 RO 水箱 1. 水箱采用玻璃钢材质，并使用 氮气密封。 2.RO 水箱有三组水泵输出 ，一组 UV 供水，一组阴阳离子交换床冲 洗水，一组冷凝设备供水。 运行参数 ：产水水量为185m3/h， 出口为 6bar ，温度 21-30 ℃。 迈博瑞生物膜技术南通有限公司 紫外线杀菌设备（ UV 装置） 1. 两组，一用一备，单组使用 44 跟紫外 灯管。 2. 出水为反渗透产水。 用途 ：杀灭水中的微生物，降低有机物 含量。 运行参数 ：产水水量为185m3/h，出 水压力为 5.5bar ，操作温度 26 ℃。 初级混床（ MBX 混床） 1. 内装阴离子树脂和阳离子树脂。 用途 ：全面去除水中的阴阳离子，电阻 率由4mΩ/cm提升至 17- 18mΩ/cm。 2. 定期对混床进行再生，使用 HCl 和 NaOH 。 3. 再生水进入废水池，冲洗水进入过滤 水箱，产水为纯水。 运行参数 ：产水量为185m3/h，出口 压力为 4bar ，温度 23-30 ℃。 脱气膜 (MD) 1. 由两台真空泵和 12 支膜壳组成。 2. 水由上向下流出，气体由下向上抽 出，主要气体为 CO2 和 N2 。 3. 出水为纯水进入纯水箱。 运行参数 ：产水水量为180m3/h，出 口水压为 1.5bar ，温度为 21-30 ℃。 迈博瑞生物膜技术南通有限公司 纯水水箱 1. 玻璃钢材质，内衬 PP ，氮 封。 2. 有一组泵输出，输出水为纯 水。 运行参数 ：产水水量为 230m3/h，出口水压为 8.5bar ，温度为 22-30 ℃。 冷交换器 1. 纯水进入交换器，温度降 低为 5 ℃。 2. 出水为纯水，进入 UV 装置。 运行参数 ：产水水量为 230m3/h，出口水压为 7.5bar 。 迈博瑞生物膜技术南通有限公司 UV 装置 1. 三组紫外线杀菌装置，每组 44 根灯管。 2. 出水为纯水进入增压泵。 3. 运行在恒温 5 ℃环境中。 用途 ：再次杀灭水中细菌，降 低有机物含量。 运行参数 ：产水量为230m3/h， 出水水压 7.5bar 。