P5000工作原理精品课件.pptVIP

P5000 robot assemblely robot blade 手臂取片位置 ①手臂在cassette中slot base位置 ②手臂在cassette中slot delta位置 ①手臂在elevator中slot base位置 ②手臂在elevator中slot pick up位置（往腔体传片） ③手臂在elevator中slot passthrough位置（往cassette传片） Handler manual control TRANSFER STEPPER MOTORS CONTROL ETCH chamber P5000 ETCH chamber type: Mark II Mxp Mxp+ eMxp+ ASP ETCH chamber components Mark II chamber body Mxp chamber body ETCH MxP chamber Mxp+ chamber Mxp+ chamber parts Monitor ETCH chamber ETCH MxP chamber VACUUM SUBSYSTEM Vacuum Gauges Ion Gauge Capacitance Manometer Convectron TC Gauge 是一种绝对真空计，它利用薄膜受气压 变化产生挠曲，检测膜片电容值改变来 测量真空，它是一种高精度真空计 误差〈０.５％，测量范围：760托-10-5托 （所有干法设备均采用MKS 127/122系列） Capacitance Manometer Capacitance Manometer 利用熱散失的原理量測溫度，當壓力越高則加熱絲溫度低，反之亦然 熱電偶偵測出溫度的變化於是產生電壓，藉由電壓變化的判讀得知壓力 適用壓力範圍為 10-3~1 torr Thermocouple Gauge Thermocouple Gauge P5000 Minframe overview 主机 Power on Remote AC box AC box DC power 1.48v 10A Chopper driver, moto break 2.+/-15v 3A Match, manometer, remote support equipment, tool 3.24v 31A DI/O, TC MFC Expand 12 gases to 28 gases. 附机 Heat exchanger 1.AMAT-0 standard 工作温度：20℃-80 ℃ 冷却液：50% ethylene glycol 50% DI water 流量：2 gpm 容量：2 gallon 2.AMAT-1 high temperature 工作温度：20℃-120 ℃ 冷却液：100% ethylene glycol 流量：1.25 gpm 容量：2 gallon 3.Neslab 工作温度：5℃-35 ℃ 冷却液：50% ethylene glycol 50% DI water 容量：5 gallon 常见热交换器 AMAT Heat Exchanger AMAT standard AMAT-1 high temperature Neslab Wafer transfer subsystem Robot 方向