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洁 净 室 ( 区 ) 空 气 洁 净 级 别 表
尘粒最大允许数 / 立 微生物最大允许
洁净度级 ≥ 5 μm尘粒 沉降菌 /
方米 数
别 数 皿
≥μm尘粒数 浮游菌 / 立方米
100级 3,500 0 5 1
10,000级 350,000 2,000 100 3
100,000
3,500,000 20,000 500 10
级
300,000
10,500,000 60,000 1000 15
级
ISO14644-1 (国际标准)
空气洁净 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(空气粒子数个 / 立方米)
度等级 (N)
ISO Class1 10 2
ISO Class2 100 24 10 4
ISO Class3 1,000 237 102 35 8
ISO Class4 10,000 2,370 1,020 352 83
ISO Class5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29
ISO Class6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
ISO Class7 352,000 83,200 2,930
ISO Class8 3,520,000 832,000 29,300
ISO Class9 35,200,000 8,320,000 293,000
注: 由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平
各国洁净度等级近似对照表
ISO US US EEC FRANCE GERMANY JAPAN
个 /M ≥
14644-1 209E(1992) 209D(1988) cGMP(1989) AFNOR(1981) VDI 2083(1990)
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