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高纯氢氟酸的介绍与生产一概述高纯氢氟酸英文名分子式分子量为无色透明液体相对密度沸点在空气中发烟有刺激性气味剧毒能与一般金属金属氧化物以及氢氧化物发生反应生成各种盐类腐蚀性极强能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅易溶于水醇难溶于其他有机溶剂高纯氢氟酸为强酸性清洗腐蚀剂可与硝酸冰醋酸双氧水及氢氧化铵等配置使用主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗和腐蚀是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品目前在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业其它
高纯氢氟酸的介绍与生产
一、概述
高纯氢氟酸英文名 hydrofluoric acid,分子式 HF,分子量 20.01。为无色透明液体,相对密度 1.15~1.18,沸点 112.2℃,在空气中发烟,有刺激性气味,剧毒。能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应,生成各种盐类。腐蚀性极强,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。易溶于水、醇,难溶于其他有机溶剂。
高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂,可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用,主要应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)芯片的清洗和腐蚀,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一,还可用作分析试剂和制备
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