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部分习题参考答案 第 10 章 半导体式化学传感器 10.1 什么是半导体气体传感器？它有哪些基本类型？气体传感器的发展动态如 何? 10.2 半导体气体传感器主要有哪几种结构？各种结构气体传感器的特点如何？ 10.3 如何提高半导体气体传感器的选择性？根据文献举例说明，目前实用气体检测方法常用哪些气敏传感器？它有什么特点？ 10.4 半导体气体传感器为什么要在高温状态下工作？加热方式有哪几种？加热丝可以起到什么作用？ 10.5 查找文献说明近年有哪些新性的气体传感器。 10.6 什么是绝对湿度？什么是相对湿度？表示空气湿度的物理量有哪些？如何 表示？ 10.7 湿度传感器的种类有哪些？主要参数有哪些？简述氯化锂湿度传感器的感 湿原理。 10.8 简述半导体湿敏陶瓷的感湿机理。半导体陶瓷湿敏传感器有那些特点？ 10.9 离子选择电极是如何分类的？离子选择电极分析法有什么特点？试述离子 选择电极的结构与测量原理。 答案： 10.1 答：（略） 10.2 答： 1）按构成气敏传感器的材料可分为半导体和非半导体两大类；按半导体的 物理特性，气敏传感器可分为电阻型和非电阻型。 2）早期电化学和光学方法，其检测速度慢、设备复杂、使用不方便；新型 金属氧化物半导体传感器由于灵敏度高、体积小、使用方便，已广泛用于检测、 分析领域。电阻型气敏传感器是利用气体在半导体表面的氧化和还原反应， 导致敏感元件阻值变化， 电阻型气敏传感器是目前使用较广泛的一种气敏元件， 传感器主要由敏感元件、 加热器、外壳三部分组成。非电阻型气敏传感器有不同类型，如利用 MOS 二极管的电容 -电压特性变化，利用 MOS 场效应管的阈值电压的变化，利用肖特基金属半导体二极管的势垒变化进行气体检测。 10.3 答：（略） 10.4 答： 1）因为在常温下，电导率变化不大，达不到检测目的，因此以上结构的气 敏元件都有电阻丝加热器， 加热时间 2～3 分钟，最佳工作温度为 200℃～ 400℃。 2）加热方式分为直热式和旁热式。电阻型气敏传感器加热的目的有两个方 面的因素，一是为了加速气体吸附和上述的氧化还原反应， 提高灵敏度和响应速 度，另外使附着在传感器元件壳面上的油雾、尘埃烧掉。 10.5 答：（略） 10.6 答： 1）绝对湿度指单位体积空气内所含水汽的质量，一般用每立方米空气中所 含水汽的克数表示 AH mV ( g / m3 ) V 2）相对湿度是指被测气体中，实际所含水汽蒸汽压和该气体在相同温度下 饱和水蒸气压的百分比，一般用符号 %RH(Relative Humidity) 表示，无量纲。 3）除用绝对湿度、相对湿度表示空气的水汽含量外，露点温度是一个与湿 度相关的重要物理量， 简称露点。 当空气中温度下降到某一温度时， 空气中的水汽就有可能转化为液相而凝结成露珠，这一特定温度称为空气的露点或露点温度。 10.7 答：（略） 10.8 答： 1）半导体湿敏电阻通常用两种以上的金属 — 氧化物 — 半导体烧结成多孔陶瓷，多孔陶瓷表面吸收水分的情况分为三个阶段， 第一阶段是陶瓷在低湿区域或刚接触水汽；第二阶段是进一步吸收水分子或中等湿度环境； 第三阶段大量水汽存在使晶粒界充满水分子。 2）半导瓷湿敏传感器有正特性和负特性两种。负特性半导体瓷湿敏电阻的 电阻值随湿度增加而下降，电阻率低，阻值 -湿度特性好。由于水分子中（ H2）氢原子具有很强的正电场， 当水分子在半导体瓷表面吸附时可能从半导体瓷表面俘获电子，使半导体表面带负电，相当表面电势变负，（ P 型半导体电势下降， 型半导体出现反型层）电阻率随湿度增加而下降。 10.9 答： 1）ISFET 没有金属栅极，而是在绝缘栅上制作了一层敏感膜，敏感膜种类 很多，不同敏感膜检测离子种类不同，具有离子选择性，如： Si3N4— 氮，SiO2、 Al2O3 （无机膜）可测 H+ （氢）、 PH。 2）器件在 SiO2 层与栅极间无金属电极， 而是待测溶液， 溶液与参比电极同时接触充当栅极构成场效应管，工作原理与场效应管相似。 3）离子敏传感器是将普通 MOSFET 的金属栅去掉， 让绝缘氧化层直接与溶液相接触，栅极用铂金属膜作引线， 在铂膜上涂一层离子敏感膜， 构成离子敏场效应管 ISFET。当离子敏场效应管 ISFET 插入溶液时，被测溶液与敏感膜接触处就会产生一定的界面电势，这个电势大小取决于溶液中被测离子的浓度。