激光器械与维护 常见半导体激光器类型及特点（可见光激光器、红外激光器、量子阱、分布反馈、表面发射激光器、微腔激光器、动态单模激光器） 常见半导体激光器的类型及特点.pptVIP

DH激光器工作原理 由于限制层的带隙比有源层宽，施加正向偏压后， P层的空穴和N层的电子注入有源层。 P层带隙宽，导带的能态比有源层高，对注入电子形成了势垒，注入到有源层的电子不可能扩散到P层。 同理， 注入到有源层的空穴也不可能扩散到N层。 这样，注入到有源层的电子和空穴被限制在厚0.1-0.3 μm的有源层内形成粒子数反转分布，这时只要很小的外加电流，就可以使电子和空穴浓度增大而提高效益。 另一方面，有源层的折射率比限制层高，产生的激光被限制在有源区内，因而电/光转换效率很高，输出激光的阈值电流很低，很小的散热体就可以在室温连续工作。 垂直腔面发射激光器的结构 组成：该结构由镜面 、 有源层和金属接触层组成。2个发射镜分别为 n 型和 p 型 DBR 堆的布喇格发射器。有源区由 1～3 个量子阱组成。有源区的两侧是限制层，一方面起限制载流子的作用，另一方面调节谐振腔的长度，使其谐振波长正好是所需要的激光波长。在衬底和 p 型 DBR 的外表面制作金属接触层，形成欧姆接触，并在 p 型 DBR上制成一个圆形出光窗口，输出圆形的激光束。 垂直腔面发射激光器的结构 a）所示的激光器采用45°倾斜反射镜结构 ,其反射特性完全依赖于内部反射镜的倾角和平整度，工艺制作困难，且存在光束畸变问题； b）采用高阶耦合光栅结构，尽管可以获得发散角小的窄细光束，但其反射光的大部分进入了衬底，使效率大幅降低 ,而且激光束的发散角度随波长变化而变化； c）为有源区直径及腔长仅为微米量级的 微腔结构，容易实现低阈值 ( I t h)，具有较高的微分量子效率；所以 ( c) 是垂直腔面发射激光器中最理想的结构。 光机电应用技术国家教学资源库 常见半导体激光器的类型及特点 教学目标 通过本次课程的学习让学生了解常见的半导体激光器，熟悉各常见半导体激光器的基本结构、基本特点。 这种结构由三层不同类型半导体材料构成，不同材料发射不同的光波长。 结构中间有一层厚0.1-0.3 μm的窄带隙P型半导体，称为有源层；两侧分别为宽带隙的P型和N型半导体，称为限制层。三层半导体置于基片(衬底)上，前后两个晶体解理面作为反射镜构成法布里-珀罗(FP)谐振腔。 异质结半导体激光器（DH） 条形激光器 针对有源区的载流子和光子在结平面方向（测向）的限制而采用条形结构，使激光器的阈值电流大幅度降低，改善了近场与远场、纵模与横模特性，提高了材料的可靠性等。 量子阱半导体激光器 量子阱是指窄带隙超薄层被夹在两个宽带隙势垒薄层之间的状态 单量子阱 多量子阱 垂直腔表面发射激光器（VCSEL） 垂直腔是指激光腔的方向（光子振荡方向）垂直于半导体芯片的衬底，有源层的厚度即为谐振腔长度。 根据其有源层的不同，可分为三种结构：45° 镜面型、光栅耦合型、垂直腔型。 分布反馈式半导体激光器 分布反馈是半导体激光器：在有源层之上或者之下的材料层中，制作折射率或者增益周期分布的布拉格光栅，利用布拉格光栅的反射建立起反馈的半导体激光器 分布反馈式半导体激光器 DFB原理：根据布拉格衍射原理，入射平面波在界面B、C点反射后，光程差是波长的整数倍时，发射波加强。这种光栅式的结构完全可以起到一个谐振腔反射镜的作用。它所发射的激光频率完全由光栅的周期T决定。 分布反馈激光器(DFB) DFB激光器是单纵模(SLM) LD，即频谱特性只有一个纵模（谱线）的 LD。 SLM LD与法布里-珀罗 LD 相比，它的谐振腔损耗与模式有关，即对不同的纵模具有不同的损耗。 这是通过改进结构设计，使DFB LD 内部具有一个对波长有选择性的衍射光栅，从而使只有满足布拉格波长条件的光波才能建立起振荡。 由这种激光器的增益和损耗曲线图可见，增益曲线首先和模式具有最小损耗的曲线接触的模开始起振，并且变成主模。其它相邻模式由于其损耗较大，不能达到阈值，因而也不会从自发辐射中建立起振荡。 SLM LD与法布里-珀罗 LD 相比，它的谐振腔损耗与模式有关，即对不同的纵模具有不同的损耗 单纵模 DFB 半导体激光增益和损耗曲线 DFB LD的谐振腔损耗与模式有关，即对不同的纵模具有不同的损耗。 这是通过改进结构设计，使DFB LD 内部具有一个对波长有选择性的衍射光栅，从而使只有满足布拉格波长条件的光波才能建立起振荡。 DFB LD结构及其原理 课程小结 本次课主要介绍了半导体激光器的几种常见类型，重点介绍了几种常见类型的半导体激光器的结构及特点 作业布置 1、DH半导体激光器的结构特点是什么？ 2、简述DH半导体激光器的工作原理 3、简述垂直端面发射半导体激光器的结构特点？ 4、垂直端面发射半导体激光器