AOI检查作业标准.docVIP

PAGE / NUMPAGES 1 目的：通过AOI光学检查机对外层板蚀刻后板面进行检验，为外检的批量检查，品质鉴定提供工作指引。 2 适用范围：外检课检验作业。 3检验工具：100X 、3X 、10X放大镜、AOI机。 4检验方法：分为目视与AOI扫描两种方式。 4.2干膜首件专人、专机扫描机检测，扫描参数定义好后须经当站技术以上人员同意后才可调整。 检测要求：量产前首件扫描1PNL，过程中每72PNL抽测2PNL，扫描1PNL，核对1PN；样品与小于72PNL的小量产可按要求检验。 5不良板分析图： 5.1残铜、凸出： 残铜 残铜 残铜 A≤D/5 凸出凸出 凸出 B≤D/5 残铜 L≤D 注：相邻线2.5MM内不允许有两处残铜或凸出 缺口 5.2焊盘缺损： 缺口 孔中心 孔中心 A≥2MIL 注：1.缺口小于焊盘的十分之一 2.中心孔到缺口区需保留2MIL 5.3线路缺口、针孔： 线 宽 A≤W/5 B≤W/5 L≤W 注：一条线长2.5MM内不允许有两处缺口或针孔 5.4不合格品：内外层蚀刻板经检验有不良缺陷已超出检验范围即判定为不合格，且将不良缺陷在板面用△表示开路，□表示缺口/针孔，○表示短路/残铜， 表示固定的缺陷。 6判定标准：详见下表。 外层组检验标准： 实物图片 缺陷图片解说明 使用 工具 作业方法 异常处理 缺 陷 说 明 (图1)断线（膜碎） (图2)缺口 (图3) 线细 (图4)脏点 (图5)脱膜 (图6)铜渣 (图7) 蚀刻不净 修 刀 10 倍 镜 50 倍 镜 AOI机 VRS机 1. 单元内任何形式的开路均不允许(图1) 2 3. 不影响设计线宽的20%,任何方向的长度要≤5mil(图2) 4.线路减少不得大于原设计线宽的-20%(图3) 5. a.任何脏点不允许造成短路。 b.脏点造成残铜，面积不可超过5mm2(图4) 6.脱膜不允许影响设计线宽的±20%(图5) 7.残铜面积不允许超过5mm2或造成线路桥接和铜面粗糙(图6) 8. 任何因蚀刻不净造成短路都不允许(图7) 9. 干膜板刮伤造成短路不允许。 (图8) 10. 残铜面积不允许超过5mm2或造成短路不允许。(图19) 11. 成型区内无底铜刮伤造成断线等问题不允许。(图10) 12. 人为刮撞伤造成线路弯曲或断线不允许。(图11) 重 工 报 废 实物图片 缺陷图片解说明 使用 工具 作业方法 异常处理 缺 陷 说 明 (图8)干膜板刮伤 (图9) 有底铜刮伤 (图10)无底铜刮伤 (图11) 刮撞伤 (图12)孔偏 ( (图13)残缺 修刀 10倍镜 50倍镜 AOI机 VRS机 13.孔偏破边不超过焊盘的1/4，且不允许造成断脖子。 14.满足最小线距要求,不影响原线宽的20%。 15.a.任何金手指、焊盘不允许有缺损现象。 b.铜面缺损不允许超过5mm2。 三、说明： 1.在前制程中造成的不良问题(如短路、残铜、凸出等),在客户允许的修补的范围内进行修补，使产品在完全良好的状态下流入下制程。 2.修补短路时用刀片随着线路边缘的两边切开，再用刀片刮开，修补时所造成的线路凸出或缺口不得影响原线宽的±20%,如客户有特殊要求时,即按照客户的标准执行。 3.补线标准：汽车板不允许补线； 4.以下问题需拿到光台强光下进行修理:①连线短路超过三条线 ②线路转弯处短路 重 工 报 废