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洁净室的测试及验收标准 控制洁净室空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投 产调试工作完成后的洁净室检测阶段，还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工 作。在各种标准和建议（ 16）中都详细地制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制 方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。 在洁净室内，按其用途的不同应控制下列参数： 1、测试状态的确定 2、空气中粒子的浓度 3、气流的风速和单向性（对单向气流而言） 4、风量和换气次数 5、最终过滤器的整体性 6、空气温度和湿度 7、洁净室的密闭性 8、洁净室表面的洁净度 测试状态的确定：根据设计要求，一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测， 一般不做动态检测，如需动态检测，需要制定或参照其他标准。 空气粒子浓度的检测 洁净度级别 洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的最大允许浓度（每 1m3空 气中的粒子数）。 空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定，根据该标准的规 定，洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值 D 的粒子的最大允许浓度确定的。 在确定实际洁净室的洁净度级别时，应对粒径≥阀值的粒子进行统计，下面的粒子 给定粒径都是指阀值粒径。 所列为整数级别序数 N 和最常见值 D 的粒子最大允许浓度 粒子最大允许浓度 Cn 颗 m3，粒径≥下列值，微米 ISON级 ISO 1 级 10 2 - - - - ISO 2 级 100 24 10 4 - - ISO 3 级 1000 237 102 35 8 - ISO 4 级 10000 2370 1020 352 83 - ISO 5 级 100000 23700 10200 3520 832 29 ISO 6 级 1000000 237000 102000 35200 8320 293 ISO 7 级 - 352000 83200 2930 ISO 8 级 - 3520000 832000 29300 ISO 9 级 - 8320000 293000 备注：浓度值 Cn 应四舍五入，小数点后保留三位，在实际情况下粒子浓度的实际误差是存在 的，求不出精度很高的浓度。 洁净度级别表示实例 ISO 4 级；静态；给定粒径微米（ 352 粒子 /m3）。 ISO 5 级；静态；给定粒径微米（ 3520 粒子 /m3）；微米（ 29 粒子 /m3）。 因此，在测试具体的洁净室的相应洁净度级别时，不需要检测如上表所示的该级别 的所有粒子粒径。而只要检测为该种洁净室给定的粒子粒径。 测定洁净度级别的方法 在检测洁净室的洁净度级别时，应测定洁净室内 1 点或数点的悬浮粒子浓度（即取 样点的粒子浓度）。 因此必须满足下列要求 1）确认洁净室的状态与给定的相符； 2）确定给定粒径，洁净室取样点的数量和位置； 3）确定每一取样点的取样数量； 4）确定对每一种给定粒径在每 1 取样点上，每 1 次取样的取样量和取样时间； 5）取样之后应对每一种给定粒径的粒子进行相应统计； 6）将取样数据填入按各种给定粒径统计的粒子统计记录表内 （适于采用无计算机软 件的粒子计数器的场合下） ； 7）整理取得的数据； 8）对结果进行分析； 9）整理方案确定级别应符合上表要求。 气流的检测 在洁净室中的气流： 气流风速（通常是控制单向气流的风速） 气流均匀性（单向气流风速稳定性）并目视检查气流。 空气（单向气流）的风速和风量 空气单向气流的风速是在垂直于气流方向的平面上并距离风源 150-500mm处测得的。 测试点的数量应大于被测表面面积的平方根， 但不得小于 3，应在每一个设定的网格 中进行测量，测量点应均匀地分布在平面上。 应在距离过滤器表面 150mm处测试过滤器出口处的风速。在评价气流的均匀性时， 应在距离过滤器表面 300mm以上处测试风速。 每 1 点的测量时间不得少于 10 秒。并且要确定平均值，最大和最小值。 气流的均匀性 根据在垂直于空气运动方向的平面上各点的风速测试数据， 评价单向气流的均匀性， 建议该平面应距离过滤器表面（风口） 300 毫米以上。 平面上各点处的风速相差不得超过 20%-30%。 检验过滤器的整体性 最终过滤器（ HEPA， ULPA过滤器）是洁净室的重要部分。这些过滤器安设在洁净室 的吊顶和墙上，装在设备和风管内。应进行泄漏检查，以控制过滤器的整体性，过滤器 的渗漏意味着粒子的渗漏，会超过Г OCTP5125-99。 制造商应在厂内对过滤器作最大穿透粒径试验， 附过滤器检测报告，现场不做检漏。 温度的检测 在洁净室内采用两种方法控制温度： 一般控制 特殊控制 （一般控制） 在通风空调系统投产 - 调试时，以及在洁净室检测的各个阶段和使用阶 段均要进行温度的一般控制。 规定工作