旋转机械真空泵...pptVIP

3.2 旋转机械真空泵 采用机械方法周期性改变泵内的吸气气腔的容积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀、压缩而被排出泵外，从而获得真空的泵。有水环式、滑阀式及旋片式等。 是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33×10-2（Pa）属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。 旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。 3.2.1 旋片式机械真空泵的工作原理 1.工作原理 A（结构如图3－1示） B 旋片泵的抽气过程 （如图3－2示） 旋片的两个作用： 1从进气口吸入气体 2压缩已吸进来的气体，通过排气阀使之排出体外。 油的作用： a.密封。转子与定子间、转子与叶片间、叶片与定子间接触的。 b.润滑、散热（降温） c.气体压力较低时，帮助打开出气阀。 旋片泵的工作原理示意图. 两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，如图所示。当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A 的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的，正处于压缩过程。 由于空间A的容积是逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间 B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵 的连续运转，达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。这 时总的压缩比由两级来负担，因而提高了极限真空度。 2.极限压力pa的改善 为了提高泵的极限真空度，除提高泵体、转子、旋片的加工精度，尽量减少装配间隙和有害空间以外，最有效的办法是将两只单级泵串联，组成双级泵。可达10－4托(国外可达10-5托)。目前几乎全是双级的。 注意： 双级泵只用于改善pa， 不能改善S 3.抽速S的改善 直连旋片泵：电动机转轴与泵转子转轴为同一根，可以提高转子旋转速度（不打滑），提高抽速（同样体积的泵，直连泵S高）。 可靠性高、噪声低、若泵内装有电磁阀泵可延时启动，防止了回油。 3.2.2机械泵特性和运用 1.抽速与压力关系 高压强时抽速较大 低压强时抽速减小 达到极限压强时，抽速近于零 旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。 * *