《精选》实验设计(DOE).ppt

问题 可以得出什么结论? 油温改变或碳含量改变会产生什么影响? 你建议他们怎么做? 为什么这样做 DOE 之 部分因子实验 部分因子实验方法（DOE） 通过少量的实验来研究多个因子各自的作用 快捷、节省费用 易于计划和分析 对定量因子和定性因子都实用 均衡全面 有利于确定因子之间的相互作用 老板， 这个DOE要做16次 试验 混蛋， 16次太多了， 没那么多钱给你玩 钱该花在哪 影响的大小排布： 主体因子 两因子交互 在此线以右，影响就不明显了 部分因子试验 在 23 全因子试验的基础上. 怎样增加一个因子但不增加试验 次数呢? 因为所有的列都是正交的，所以新增的因子M可使用任何 一组，通常选择高阶次的那一组。本例中使用 SxTxP 相交组. 但M因子的效应与SXTXP的交互作用相重叠 因子 M 放弃考察S, T, P三者的交互作用 简化后的试验方案变成: 只需要运行 24 实验的一半，不再是 16 次试验，而是 8次 图示部分因子实验 部分因子实验的符号 2 是试验水平的个数 k 是因子的个数 p 是部分的大小描述(p=1 ? 1/2 部分, p=2 ? 1/4 部分, 如此类推.) 2k-p 计算出试验的次数 R 是清晰度（resolution） 例如 部分因子试验Fractional 2k 的清晰度（Resolution） Resolution III: 主因子效应与双因子交互作用相重叠 Resolution IV: 双因子交互作用与其他双因子交互作用相重叠，主因子效应只与更高阶的交互作用相重叠（ aliased or confounding ）. Resolution V: 双因子交互作用与三因子交互作用相重叠，主因子效应与四因子交互作用相重叠 Design Runs Design Generator Resolution 23-1 4 C = AB III 24-1 8 D = ABC IV 25-1 16 E = ABCD V 25-2 8 D = AB, E = AC III 26-1 32 F = ABCDE VI 26-2 16 E = ABC, F = ACD IV 26-3 8 D = AB, E = AC, F = BC III 27-1 64 G = ABCDEF VII 27-2 32 F = ABCD, G = ABDE IV 27-3 16 E = ABC, F = BCD, G = ACD IV 27-4 8 D = AB, E = AC, F = BC, G = ABC III 28-2 64 G = ABCD, H = ABEF V 28-3 32 F = ABC, G = ABD, H = BCDE IV 28-4 16 E = BCD, F = ACD, G = ABC, IV H = ABD 重影效应 在前面的实验方案中，我们可以研究7个因子和交互作用的影响 (S, T, P, SxT, SxP, TxP, and M) 但是其他的一些交互作用（ SxM, TxM, PxM, SxTxPxM等等）与上面7个有重影效果! 重影关系Aliasing S=TPM T=SPM P=STM M=STP ST=PM SP=TM SM=TP 线性组合 LS=S+TPM LT=T+SPM LP=P+STM LM=M+STP LST=ST+PM LSP=SP+TM LSM=SM+TP 也就是说在这里S的主体因子的效果中包含了TPM三者交互作用的影响成分(将T,P,M的代码线性相乘就可得到与S一样的代码列)，由于TPM的作用比较小，通常可以忽略。 Minitab 设计部分因子实验 StatDOECreate Factorial Design 1. 2. 查看可选择的部分因子实验方案 StatDOECreate Factorial DesignDisplay Available Designs : 选择方案 25-1 示例 为了提高集成电路产品的产率，对5个相关因子进行研究 A = 光隙设定aperture setting (小、大) B = 暴露时间表exposure time (20% 低于常值, 20% 高于常值) C = 停留时间development time (30 s, 45 s) D = 外罩尺寸mask dimension (小、大) E = 刻蚀时间etch time (14.5 min, 15.5 min)