《材料研究与测试方法》第2章第2节电子与固体物质的相互作用.ppt

第二节 电子与固体物质的相互作用 电子散射 （1）单电子激发 （2）等离子激发 （3）声子激发 自由载流子 各种电子信号 相互作用的体积与信号产生的深度和广度 2. 各种物理信号产生的深度和广度 * 入射电子和原子的核外电子碰撞，将核外电子激发到空能级或脱离原子核成为二次电子。入射电子在试样内产生二次电子是一个级联过程，入射电子产生的二次电子还有足够多的能量继续产生二次电子，直到最后二次电子的能量很低而不足维持这个过程为止。 并不是所有的二次电子都能逸出试样表面而成为信号，二次电子的能量较低（小于50eV），因此，仅在试样表面10nm层内产生、能克服几个电子伏逸出功的电子才有可能逸出试样。 二次电子的特点：对试样表面状态非常敏感，对显示表面微区形貌结构非常有效。 二次电子像的分辨率较高，是扫描电镜中的主要成像手段。 价电子激发使入射电子产生小角散射，几率较大。 内层电子激发引起入射电子的大角度散射，但几率很小。 单电子激发主要是使入射电子受到小角度非弹性散射。 价电子的集体振荡 价电子的这种集体振荡的能量是量子化的（这种能量子称为等离子），其波长较长，动量较小；入射电子的波长较短，动量较大。所以激发等离子后不致引起入射电子较大角度的散射。 晶格振动的能量也是量子化的，其能量量子称为声子。常温下固体中的声子很多，声子波长比等离子振荡波长小2~3个数量级，因此声子的动量可以相当大。入射电子和晶格的作用可看作是电子激发声子或吸收声子的碰撞过程，碰撞后入射电子的能量变化很小，但动量改变可以很大，即可发生大角度的散射。 内层电子受激发后的弛豫过程 弛豫过程：受激原子跃迁到能量较低状态的过程。 当能量较高的入射电子照射到试样上时，不仅可使内层电子被激发产生电离，还可使满带电子激发到导带中去，使满带和导带内产生大量的空穴和电子等自由载流子。自由载流子将产生阴极荧光、电子束电导和电子束伏特等效应。 电子与固体试样作用产生的各种信号 背散射电子 电子入射试样后，一部分散射角大于90o的电子重新从试样表面逸出，这种电子称为背散射电子。这个过程称为背散射。 在试样表面上方接收到的电子谱 在扫描电镜和电子探针中应用背散射电子成像，称为背散射电子像。背散射电子产额随原子原子序数增大而增大。因此，背散射电子的衬度与成分密切相关，可从背散射电子像的衬度得出一些元素的定性分布情况。背散射电子像的分辨率较低。 2. 透射电子 当试样很薄，只有10~20nm厚度时，透射电子的主要组成部分是弹性散射电子，成像比较清晰，电子衍射斑点也比较明锐。 3. 吸收电子 试样的厚度越大，密度越大（原子序数越大），吸收电子就越多，吸收电流就越大。利用吸收电流成像可得出原子序数不同原素的定性分布情况。 1. 相互作用的体积 电子与铝相互作用的蒙特—卡洛电子弹道模拟 （a）电子束垂直入射； （b）电子束倾斜入射 电子与固体试样相互作用体积的形状和大小与入射电子的能量、试样原子序数和电子束入射方向有关。相互作用体积的形状和大小决定了各种物理信号产生的深度和广度范围。 入射电子能量和试样原子序数不同时的相互作用体积 俄歇电子仅在表面1nm层内产生，适于表面分析。 二次电子在表面10nm层内产生。在扫描电镜成像的各种电子信号中，二次电子像具有最高的分辨率。 背散射电子能量较高，接近入射电子能量，可从试样表面以下较深处射出，此时入射电子已充分扩散，发射背散射电子的广度要比电子束直径大，因此其成像分辨率要比二次电子低得多。 X射线信号产生的深度和广度更大。 Zd是电子达到完全扩散的深度；Ze是电子穿透深度；Zm是特征X射线产生的深度 *