2.13 真空设备生物信息技术.pdf

2.13 真空设备 0、主要内容 p 真空概念 n 真空是指特定空间（如容器或者系统）中的气体压力低于大气压时的 物理状态，一般用绝对压力（Pa）表示其压力，其压力与大气压力的 差值称为真空度，真空度越高表示系统中的绝对压力越低。 p 真空的范围划分 n 粗真空 低于大气压～1.3×103 Pa n 低真空 1.3×103 ～ 1.3×10-1 Pa n 高真空 1.3×101 ～ 1.3×10-6 Pa n 超高真空 1.3×10-6 ～ 1.3×10-10 Pa n 极高真空 10-10 Pa p 常见真空泵 n 往复式真空泵 n 滑片(旋片)式真空泵 n 滑阀式真空泵 n 液环式真空泵 n 罗茨式真空泵 1、往复式真空泵-1 （a）气缸上的旁通槽结构 （b）理论压力指示图 往复真空泵的实际循环 真空泵指示功率与真空度的关系 1、往复式真空泵-2 u 使用自动阀的往 复真空泵 u 单列卧式结构 u 气缸为双作用 u 需要设置十字头 u 气缸内壁上靠近 盖侧和轴侧各加 工有一个高压气 体旁通槽，用以 释放余隙容积内 的高压气体 具有自动阀的单级往复真空泵 1-自动阀；2-活塞；3-气缸；4-活塞杆；5-十字头；6-连杆；7-机身；8-飞轮 1、往复式真空泵-3 使用滑阀控制进排气及 高压气旁通的真空泵， 滑阀安装在气缸侧面， 由主轴通过一个专门的 小曲柄驱动，通过滑阀 的往复运动，依靠滑阀 上复杂的通道，实现盖