实验15椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率.docxVIP

实验 15 椭圆偏振仪测量 薄膜厚度和折射率 在近代科学技术的许多部门中对各种薄膜的研究和应用日 益广泛． 因此，更加精确和迅速地测定一给定薄膜的光学参数已 变得更加迫切和重要． 在实际工作中虽然可以利用各种传统的方 法测定光学参数 （如布儒斯特角法测介质膜的折射率、 干涉法测 膜厚等），但椭圆偏振法（简称椭偏法）具有独特的优点，是一 种较灵敏（可探测生长中的薄膜小于 0.1nm 的厚度变化）、精度 较高（比一般的干涉法高一至二个数量级） 、并且是非破坏性测 量．是一种先进的测量薄膜纳米级厚度的方法． 它能同时测定膜 的厚度和折射率（以及吸收系数） ．因而，目前椭圆偏振法测量 已在光学、 半导