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物理科学与技术学院 王殿生 制作 EXIT 《传感器原理及应用》 三、半导体陶瓷湿敏电阻 § 9.2 湿敏传感器 （ 1 ）负特性湿敏半导瓷的导电机理 Ｎ型半导瓷： 水分子吸附使表面电势下降，不仅 使表面层的电子耗尽，同时吸引更多的空 穴达到表面层，可使到达表面层的空穴浓 度大于电子浓度，出现表面反型层，这些 空穴称为反型载流子 。 2 、湿敏半导瓷的导电机理 1 ： ZnO-LiO 2 -V 2 O 5 系 2 ： Si-Na 2 O-V 2 O 5 系 3 ： TiO 2 -MgO-Cr 2 O 3 系 反型载流子（空穴）在表面迁移而 表现出电导特性，使 N 型半导瓷材料的表 面电阻下降。 因此，不论是Ｎ型还是Ｐ型半导瓷， 电阻率都随湿度增加而下降。 物理科学与技术学院 王殿生 制作 EXIT 《传感器原理及应用》 三、半导体陶瓷湿敏电阻 § 9.2 湿敏传感器 （ 2 ）正特性湿敏半导瓷的导电机理 正特性湿敏半导瓷材料的结构、电子 能量状态与负特性的不同。 当水分子吸附半导瓷表面使电势变负 时，导致表面层电子浓度下降，但不足以 使空穴浓度增加到出现反型程度，仍以电 子导电为主。 电子浓度下降，表面电阻加大。 2 、湿敏半导瓷的导电机理 因 晶 体 内 部 存 在 低 阻支路，正特性半导瓷电 阻值升高没有负特性的阻 值下降那么明显。 Fe 3 O 4 半导瓷 正湿敏特性 因