离子束加工原理特点及其应用研究应用.docVIP

本科课程论文 题 目离子束加工原理特点及其应用研究 学 院 专 业 机械设计制造及其自动化 年 级 20XX 学 号 姓 名 指 导 教 师 成 绩 20XX年 12 月 10 日 目录 TOC \o 1-3 \h \z \u 1 前言 1 2 离子束加工的原理 2 3 离子束加工的优缺点 2 3.1离子束加工的优点 2 3.1.1加工精度高 2 3.1.2污染少、无氧化 3 3.1.3对材料影响小 3 3.2离子束加工的缺点 3 4 离子束加工的分类 3 4.1离子蚀刻 3 4.2离子溅射沉积 3 4.3离子镀 3 4.4离子注入 4 5离子束加工的主要应用 4 5.1刻蚀加工的定义及具体应用领域 4 5.1.1刻蚀加工的定义 4 5.1.2刻蚀加工的应用领域 4 5.2离子镀膜加工的定义及具体应用 4 5.2.1离子镀膜加工的定义 4 5.2.2离子镀膜加工的具体应用 4 5.3离子注入加工的定义及具体应用 5 6离子束加工应用现状 5 7结语 5 参考文献 6 离子束加工原理特点及其应用研究 摘 要:本文分析离子束加工原理特点，叙述了离子束加工作为加工精度最高特种加工方法在微电子学领域中尤其是纳米加工关键性。离子束加工根据其所利用物理效应和达成目标不一样，能够分为四类，即离子蚀刻、离子溅射沉积和离子镀，离子注入。离子束加工作为最近几年才发展起来特种加工方法，极大拓宽了人类对微细材料领域探索；不过离子束加工潜力还有待继续挖掘；现在因为加工设备费用贵，成本搞，加工效率低，部分技术还处于研发阶段等问题，离子束加工还未能普及。但我们相信未来离子束加工必将被广泛应用，为人类发展带来更多贡献。 关键词：离子束加工 原理 分类 现实状况 1 序言 特种加工是现代优异制造工程技术中较为关键和实用新技术之一，而且取得了较为广泛应用，它是中国从制造大国过渡到制造强国关键技术手段之一。经过最近十几年迅猛发展，多种特种加工方法在生产中应用日益广泛，不管是在中国还是国外电加工机床年产量年平均增加率均打打高于金属切削机床增加率。作为多年来取得较大发展新兴特种加工方法，离子加工极高加工精度和加工质量在精密微细加工方面，尤其是在微电子学领域中得到了较多应用，比如亚微米加工和纳米加工技术。纳米科技作为一个极具潜力前沿科技，其未来发展肯定对人类生活有着极大影响，而作为操作纳米级材料手段，对离子束加工研究也极具意义。本文就离子束加工原理特点进行归纳总结，并具体叙述离子束加工应用前景及未来发展趋势。 2 离子束加工原理 离子束加工技术是利用离子束对材料进行成形或改性加工方法，其加工原理和电子束加工类似，也是在真空条件下进行，把先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压 \o 惰性气体 惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最终射入工件表面，以达成加工处理目标。? 和电子束加工不一样是离子带正电荷，其质量比电子质量大干万倍。因为离子质量较大，故在一样电场中加速较慢，速度较低，然而一旦加速到较高速度，用离子束加速轰击工件表面，将比电子束含有更大能量。电子束加工关键经过热效应来蚀除材料，而离子束加工，因为离子本身质量较大，撞击工件材料时，能引发材料变形、分离、破坏等机械作用，从而达成去除材料目标。　 3 离子束加工优缺点 3.1离子束加工优点 3.1.1加工精度高 因为离子束能够经过电子光学系统进行聚焦扫描，离子束轰击材料是逐层去除原子，离子束流密度及离子能量能够正确控制，所以离子蚀刻能够达成纳米级加工精度。离子镀膜能够控制在亚微米级精度离子注入深度和浓度也能够正确地控制。所以，离子束加工是全部特种加工中最精密、最细微加工方法，是现代纳米加工技术基础。 3.1.2污染少、无氧化 因为离子束加是在高真空中进行，所以污染少，尤其适适用于易氧化金属、合金材料和高纯度半导体材料加工。 3.1.3对材料影响小 离子束加工是靠轰击材料表层原子来实现。它是一个微观作用，宏观压力很小，故加工应力、热变形等极小，加工质量高，适适用于多种