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从进样方式谈ICP-MS的灵敏度 狭义的ICP-MS进样系统由雾化器(nebulizer)和雾化室(spray chambe判成：雾化器 吸取液体、喷出雾滴。气溶胶粒径有大有小，再由雾化室进行粒径分选： 8um的 气溶胶能顺利通过雾化室进入炬管，被ICP有效电离，而大颗粒气溶胶则在重力作 用下汇入雾化室导流槽，被当做废液排走。 粒径大小。皿) 粒径大小(jim) 不同雾化器 每分钟提取的溶液量(sample uptake rate也不同：澳大利业 Glass Expansion 公司制造的 MicroMist microconcentric nebulizer，每分钟只提取 0.1-0.2微 升；美国Elemental Scientific公司制造的聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙烯-过氟烷氧基 乙烯共聚物(tetrafluoroethylene-perfluoroalkoxyethylene copolymer=PFA)材质的 low-flow nebulizer, 50-100 ul/min ；澳大利业 Glass Expansion 公司、美国 Meinhard 公司制造的standard nebulize^ 1 ml/min ；中国地质科学院制造的同心雾化器，1.6-1.9 ml/min。 雾化室的种类很多，有撞击球式(impact bead双筒式(double-pass气旋式 (cyclonic)、气旋双筒组合式(cyclone + double-pass痔，通常还配上珀耳帖(Peltier)冷 却装置，减少H2O溶剂雾滴进入炬管，进而降低 H、。多原子团的产率。 撞击球式(impact bead) 气旋式(cyclonic)两个橙色塞头用丁连接冷却装置 Finnigan Thermo Stable Introduction System (SIS)气旋双筒组合式 cyclone + Scott double-pass quartz glass spray chamber arrangement 雾化室对气溶胶的粒径分选效率定义为：进入炬管的小粒径气溶胶质量 除以 雾化器提取的溶液质量。分选效率实际上取决丁雾化器，从 2%到5%不等，甚至高 达20%。例如100 ul/min的微量雾化器，喷出的小粒径气溶胶比例能占到20%,而1.7 ml/min的国产同心雾化器，喷出的小粒径气溶胶比例只有1.3%, 100 ul/min x20%=20 ul/min, 1.7 ml/min x 1.3%=22. 1 ul/min，单位时间内 实际进入炬管的溶液量都差不 多。由丁微量雾化器内径极细，容易堵塞，通常只用丁基体分离、化学提纯的简单 溶液；而1.0-1.8 ml/min的常规雾化器，可用丁盐度为0.5-1.5%的复杂溶液。 绝大部分ICP-MS都是测溶液，假设10 ppb U调谐液能产生60万计数，那么就 定义U元素的灵敏度=信号强度 除以 浓度=600000 cps/10 ppb=60000 cps/ppb不同 实验室之间通常用这种定义的灵敏度直接比较，但这种方式很不严谨。正如上文所 说，不同的雾化器+雾化室组合使得单位时间内实际进入炬管的元素质量有多有 少，进而引发视觉上的信号强度升降。而我们更关心的是仪器自身的灵敏度 一一the sensitivity beyond the introduction system 实际进入炬管的元素有多少皮克？产 生多少计数？ 丁是定义“单位灵敏度”为： X万cps/ pg物质。 以十秒钟内实际的元素进样量为基准，用我这台PE Elan DRC-e四级杆在溶液、 激光剥蚀进样时的实测数据，阐述单位灵敏度的含义。 溶液ICP-MS (1) 10 ppb U调谐液能产生60万计数； (2)国产自吸式同心雾化器每分钟提取 1.7ml溶液； ⑶ 雾化室的粒径分选效率为1.3%,即只有1.3%的小粒径气溶胶进入炬管，98.7%的 气溶胶被当做废液排走； ⑷10秒钟内进入炬管的溶液质量为 (1.7-6)X 1.3%=0.003683 g ;调谐液含10 ppbU,那么10秒钟内进入炬管的 U元素质量为0.003683X (10X 10-9 )=36.83X 10-12 g =36.83 pg； 单位灵敏度=60万 cps士 42.5pg = 1.62听 cps/pg 激光剥蚀ICP-MS 以60um直径的束斑，2Hz频率剥蚀NIST SRM 610玻璃，能产生30万计数； 每个pulse能剥蚀0.12-0.14um,取平均值0.13um。10秒内能向下剥蚀 0.13umx 10sx 2Hz=2.6um； NIST SRM 610玻璃的密度 2.4g/cm3,即2.4x 10-12 g/um3