用传感器测空气相对压力系数41596.pdfVIP

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。 用传感器测空气相对压力系数 实验报告 【实验目的】 1. 加深对理想气体状态方程和查理定律的理解。 2. 初步了解铜电阻温度传感器和硅压阻式差压传感器的工作原理并掌握其使用方法。 3. 学习用作图法和计算机作直线拟合法处理实验数据。 【实验原理】 一、理想气体的查理定律 理想气体的查理定律理想气体状态方程在定容条件下简化为查理定律,所以 式中,t 为气体的摄氏温度, = 273.15K, 和 p 分别为气体在温度为 0 ℃和 t ℃时的气体压强 ; 为 相对压力系数,定义为 。对于理想气体, 或 ℃ 。实际气体(如空气) 可近似看作理想气体,其相对压力系数与理想气体的相差甚小。 根据查理定律可制作定容气体温度计。定容气体温度计是复现热力学温标的重要仪器,也可用于低温 测量。工业中使用的压力式气体温度计也是一种定容气体温度计。精心设计和制作的、准确度和灵敏度都 很高的定容气体温度计可用于检定其它类型的温度计。 二、铜电阻温度传感器 利用金属(如铂、铜)或半导体材料的电阻随温度按一定规律变化的特性而制成的温度计称为电阻温 度计。在 -50 ℃~100℃ 范围内,铜丝的电阻值 R与温度 t 有良好的线性关系: 式中, 为 0 ℃时的电阻值, 称为电阻温度系数。 本实验中使用的铜丝电阻的 =4.26 ℃ 。当 铜丝电阻中通以恒定的电流 I 时,铜丝电阻两端的电压 与温度 t 有如下关系 : 为 0℃时的电压, 。若测出了在纯水沸点时铜丝电阻的电压 并查出沸点温度 ,则利用 (3) 式可求得: (4) 三、扩散硅压阻式差压传感器 半导体材料(如单晶硅)因受力而产生应变时,由于载流子的浓度和迁移率的变化而导致电阻率发生 变化的现象称为压阻效应。压阻式差压传感器就是利用压阻效应制成的。本实验中使用的 PPT-1 型扩散硅 压阻式差压传感器的结构示意图如图 6-1 所示。为简单计,剖面图中未画出引线。它的核心是硅膜片,这 种膜片是利用制作集成电路的方法,在单晶硅基片上通过硼的扩散以形成如图 6-2 所示的十字形四端应变 片。 由于硅是各向异性材料,十字形四端应变片应设置在剪切应力最大的位置和剪切压阻系数最大的方向 上。当膜片受应力时,如果将一恒定电压 E 加在 M和 N 两端上,在剪切应力作用下,从 A 和 B 两端会输出 一个与压差 成线性关系的电压 ,即 精选资料,欢迎下载 。 式中 为压差为零时的输出电压,系数 一般为一常数。若传感器的接口 D (参考压力腔)通大气, 接口 C (正压力腔)通被测介质,则: 式中 为大气压强。该压阻式差压传感器可用于非腐蚀性气体和液体的压力或压差的测量。测量范围 为 ,综合精度为 0.3% 。扩散型压力传感器具有体积小、灵敏度高、稳定性好等优点。十字形四 端应变片与传统的四电阻电桥(在硅膜片上的特定方位上用扩散法形成四个电阻并连成一桥路)式应变片 相比,可靠性和一致性更好。 【实验仪器】 差压传感器,数字电压表,机械泵,恒流源,大气压强计,磁力加热搅拌器。 【实验步骤】 一、压差传感器的定标 按一定的计量标准确定计量器件或其指示部分所表示的量值称为定标。本实验中就是指准确测定差压 传感器的常数 和 。定标时选用准确度更高的四位半数字

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