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一、技术性能与指标： 1、 大真空蒸镀设备性能参数 蒸发源配置： 8个有机源+2个金属源，三组可两两共蒸 真空系统： 前级泵：爱德华或者安捷伦品牌机械泵，抽速 ＞ 12 m3/h； 高真空泵：品牌进口分子泵如 Osaka，布鲁克斯，TURBO，抽速＞560 L/s 极限真空度：＞9X10-7mbar 膜厚控制系统： 蒸发源温度或电流控制 蒸发速率显示精度：＞ 0.1 ?/s 蒸发速率控制精度：＞ 0.1 ?/s 蒸发速率稳定性：＜ 5 % 膜厚均匀性：＜ 5% 衬底尺寸：＞150 X 150 mm 软件性能： 整个实验过程由计算机自动化控制 ,inficon专业控制软件。 2、 小真空蒸镀设备性能参数 蒸发源配置： 3个有机源+3个金属源，一组可两两共蒸 真空系统： 前级泵：抽速＞12 m3/h； 高真空泵：品牌分子泵，抽速A 560 L/s 极限真空度：＞5x10-5Pa 膜厚控制系统： 蒸发源温度控制精度：＞ ± 2 C 蒸发速率控制精度：0.1 ?/s 膜厚均匀性： ＜ 5% 衬底尺寸：＞100 x 100 mm 专业控制与分析软件： 3、 手套箱系统 手套箱尺寸： 1500 mm＜长度＜1800 mm三只手套 品牌油泵：爱德华或者安捷伦油泵 水含量：＜1ppm；氧含量：＜1ppm;泄漏率 ＜ 0.05\6l%/h , 二、仪器主要配置： 1、真空蒸镀设备配置： 1.1真空腔体； 1.2蒸发源 金属蒸发源：水冷铜电极接口，蒸发温度 ＜ 1300; 2套; 有机蒸发源：配有机蒸发源 8组，石英器皿 20个 .蒸发源挡板：10套 .蒸发源间隔板：1套， 1.2.5.蒸发舟：钳舟20个；高纯度铝质塔蜗20个； 1.3真空系统 分子泵：1台； 机械泵：1台； .真空阀门及配件： 1.34 .真空测量系统： 1.4基片台与掩模系统 基片升降台： 基片台挡板： 掩模系统 .基片台加热： 1.5膜厚监测与控制系统 1.5.1膜厚监测探头，四探头 1.5.2晶体震荡片 50片 1.6控制系统 inficon镀膜控制系统 1.6.2专用计算机1台 1.7附件 1.7.1惰性气体钢瓶3个及相应减压阀3套 ITO 玻璃片 100 x 100mm , 100 片 ITO基片超声清洗器（美国必能信）1台 1.7.4稳压电源1台 1.7.5电子干燥柜1台 1.7.6洁净工作台1个 1.7.7屏幕亮度计1个 1.7.8 NPB 10g ;Alq3 10g 1.7.9气泵1台 1.7.10冷却水循环机1台 2、手套箱配置： 2.1手套箱体 2.1.1箱体 2.1.2过渡仓 2.2循环净化单元 2.3水分析仪 2.4氧分析仪 2.5溶剂吸附装置 2.6真空系统（泵和管路）