高功率微波源用TiC原位改性石墨收集极材料制备工艺及性能研究.pdfVIP

目 录 ｉ  ｍ ｗ ＡＢＳＴ ＲＡＣＴ ｉ ｉ ｉ  一 １ 第 章 绪论  １ １ １ ． 及 收集极 高功率 波 高功率 波 用 源 １ ． ２石 面 研 ４ 墨表 改性 宄 １ ２ １ ４ ． ． 熔金 碳 物涂 改性 难 属 化 层 ５  １ ． ２． ２ 化 氧 物涂层改性 １ ． ３Ｔｉ Ｃ 涂层制备工艺研宄６ １ ． ３． １ Ｔｉ Ｃ ６ 法  气相 制备 涂层 １ ． ３． ２ 反 工艺 Ｔｉ ７ 熔盐 应 制备 Ｃ 涂层 Ｔ ７ 埋 艺  １ ． ３． ３ 粉末包 工 制备 ｉ Ｃ 涂层 １ ． ４Ｔｉ Ｓｉ Ｃ 制备工艺研宄８ ３ ２ １ ４ １ Ｔ ８ ． ． 化 沉 备 ｉ Ｓｉ Ｃ 涂  学气相 积制 ３ ２ 层 １ ． ４． ２ Ｔｉ ｉ Ｃ ８ 热压烧结制备 ３ Ｓ ２ 涂层  １ ５ ９ ． 论  本 文 要 宄内容  主 研 二