洁净石墨烯振子制备、特性与微吸附检测研究.pdfVIP

目 录 摘 要 i Abstract iii 第一章 绪论 1 1.1 研究背景及意义 1 1.2 文献综述 2 1.2.1 石墨烯基本特性方面 2 1.2.2 石墨烯振子微吸附检测方面 5 1.2.3 石墨烯噪声特性研究现状及应用方面 12 1.2.4 存在的问题分析 17 1.3 论文研究内容及组织结构 18 第二章 石墨烯振子制备技术研究 20 2.1 石墨烯振子制备工艺流程设计 20 2.1.1 基于LOR 基底解理石墨烯振子制备工艺流程简介 20 2.1.2 基于LOR 基底CVD 石墨烯振子制备工艺流程 21 2.2 石墨烯振子制备关键技术研究 24 2.2.1 CVD 石墨烯干法转移 24 2.2.2 PMMA/LOR 显影曝光参数优化 27 2.3 石墨烯振子制备 29 2.3.1 Corbino 石墨烯振子制备 29 2.3.2 带状石墨烯振子制备 35 2.4 本章小结 36 第三章 石墨烯振子清洁与洁净度评估 38 3.1 石墨