超声波扫描显微镜幻灯片.pptVIP

31 一、分辨率： 超声波显微镜的分辨率主要受探头的频率影响，理论分辨率可 以达到声波在材料内的波长 L 的 1/2 ～ 1/3, 这里波长 L ， L ＝ V / f 这里 V 表示声波在材料内纵向传播速度， f 表示探头的频率，可 见探头频率越大，则分辨率越大。 但同时可见，超声波显微镜的实际分辨率还受到声波在材料内 部纵向传播速度，探头聚焦长度，焦点直径的影响，因此对于不同 性质的材料或不同聚焦长度、直径的探头，仪器实际的分辨率是有 差异的。 Special Parameter of Transducers for AMI 超声波扫描探头选择的主要参数 32 二、灵敏度： 超声波显微镜探头的灵敏度影响到仪器分辨率所能达到的水 平，一般的探头只能达到波长 L 的 1/2 ，而比较好的探头则能达到 波长 L 的 1/3 。影响灵敏度的因素主要决定于探头焦点的直径，通 常来说焦点直径越小，灵敏度越大。但实际的焦点直径非常难精 确的测量出来，因为声波聚焦点没有明确的边界，而是以不同灰 度形状环绕在一起。目前 Sonoscan 公司自己研发的探头焦点直径 能做到微米以下直径。 林状波 Special Parameter of Transducers for AMI 超声波扫描探头选择的主要参数 33 三、穿透深度： 超声波显微镜探头对材料的穿透深度主要受到二个因素影响： ? 探头聚焦声波波束在被检测材料与中间耦合剂之间的折射率 N ： N= C L, Material / C L,Water 这里 C L, Material 表示声波在被检测材料内的纵向速度， C L,Water 表示声 波在中间介质中的传播速度（通常用水 C L,Water =1.5 mm/μs ）； ? 材料对声波的吸收系数： 吸收系数是由材料内部的晶格大小、材料性质，空隙度等决定，因 此比较难以仅用探头来决定穿透的深度，还取决于不同的材料，或 同一种材料内部的晶格、空隙等因素。 Special Parameter of Transducers for AMI 超声波扫描探头选择的主要参数 34 General Application for Different Frequency of Transducers 不同频率探头的应用领域举例 Low Frequency (10-50 MHz): Anodic bonding, welding structures, packages: 低频探头 (10MHz – 30MHz): delaminations, defects; 电极封装、焊接内部结构的分层缺陷、杂质、裂纹等 Mid Frequency (50-75 MHz): BGAs, die attach, die top: 中频探头 (50MHz – 75MHz): delaminations, defects, cracks; BGA, 粘晶芯片内部的分层缺陷、杂质、裂纹等； High Frequency (100-300 MHz): Delaminations, voids, defects, cracks in thin plastic 高频探头 (100MHz – 230MHz): packages and flip chips; 薄型塑封器件、倒装焊芯片内部的分层缺陷、杂质 、裂纹等； Ultra High Frequency (0.4-2 GHz): Nano-voids, cells, defects, boundaries in ceramics 超高频探头 (400MHz – 2GHz): alloys material; 陶瓷，合金材料中的纳米空洞、颗粒、缺陷、界面 ; 35 Typical Parameter C-SAM Transducers 典型超声波传感器探头参数 36 Sonoscan Software for Acoustic Microscope Sonoscan 超声波扫描显微镜软件功能 ? Operation Software 操作软件基于 Windows XP ? Easy Opertion 便于操作的人性化设计 ? Image Analyser 具有图象分析功能 37 Locate the VHR Visual Acoustics icon on the Microsoft Windows? Desktop and double - click on this VHR Visual Acoustics icon 双击电脑桌面的 VHR 软件图标，打开软件。 VHR Software Logon VHR 软件登