第六章 高分辨和高空间分析电子显微术.ppt

6.5.1 负球差系数成像技术 在实际应用中，物镜球差校正系统是一置于物镜之后由两组六极电磁透镜及两组附加传递双合圆型透镜组成的近消球差物镜系统，如图6.66所示。上述物镜球差校正系统已成功地装入在德国Juelich研究中心的200 kV Philips CM 200FEGST透射电子显微镜上并成功运行。装入球差校正系统后的电子显微镜的点分辨率由原来的0.24 nm提高到0.13 nm。图6.67给出了物镜球差校正前后的相位衬度传递函数。由于物镜球差的校正，高分辨率透射电子显微镜中由衬度离位造成的假象也可最大限度地避免。 图6.66 物镜球差校正系统示意图 f0为物镜的焦长；f为传递透镜焦长；N0，N1、N2为交结面，也是传递双合透镜系统的外无彗散平面 6.5.1 负球差系数成像技术 图6.67 物镜球差校正前后的相衬度传递函数 电压200 kV，半会聚角0.2 mrad，焦散7 nm，球差校正（曲线1）：球差Cs=1.23 mm，欠焦?f=-68 nm。A为点分辨率；B为信息分辨极限，球差校正后（球差）Cs=0.05 mm，欠焦?f=-14 nm 6.5.1负球差系数成像技术 2. 成像理论新概念 电子显微镜成像系统的不完美性是被波动光学中的球差函数 所表征的。这种不完美性的表征是与几何光学中由光线在成像平面上位移 的表征等价的。球差函数和位移之间的关系由 相关联。 球差函数与失焦球差Z和电子波长λ之间有以下关系： 　　　　　 　　　　　　　　　　 （6.87） 而射线位移与失焦球差和波长之间关系为 　　　　 　　　　　　　　　　　　 （6.88） 6.5.1 负球差系数成像技术 选择Z＝0和Cs=0，球差函数和射线位移均为零，而电子波长通过成像系统而不改变。衬度离位为 ，g≤gmax　 （6.89） 其属于信息分辨极限。当由空间频率gmax表征的衬度离位变为零时，成像强度就等于波函数 与点发散函数 卷积的强度，即 　　　　　　　　 　　　　　　　　　 （6.90） 在可调球差透射电子显微镜中，选择欠焦 　　　　　　　 　　　　　　　　 　 （6.91） 和正的球差系数 　　　　 　　　　　　　 （6.92） 6.5.1 负球差系数成像技术 球差函数是通过负值达到信息分辨极限，产生一个相位偏离接近 的Scherzer宽通带。在线性成像理论的框架下，仅考虑透射束和衍射束之间的线性干涉项，而忽略衍射束之间的非线性干涉项，弱相体是具有暗（黑）原子衬度的成像。衬度离位取值为　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　 （6.93） 对于上述200 kV Philips CM200 FEG ST透射电子显微镜，当电子波长为2.5 pm时，代表性的值为Z＝-11 nm，Cs=37 μm和R＝0.074 nm，信息分辨极限为8 nm-1。 选择过焦 　　　 　 　　 　 （6.94） 和负的球差系数 　　　　　　　　　　 （6.95） 6.5.1 负球差系数成像技术 球差函数现在是通过正值达到信息分辨极限，产生一个相位偏离接近 的Scherzer宽通带。在线性成像理论的框架下，弱相体是具有亮（白）原子衬度的成像。衬度离位再次取值为　 　　　　　　 （6.96） 对于上述电子显微镜的代表值为Z＝11 nm,Cs