材料表面与界面技术.pptVIP

材料表面和界面技术;气相沉积技术;;;能力知识点1 物理气相沉积;;一、 蒸发镀;1．蒸发镀的原理;真空容器(提供蒸发所需的真空环境)。 蒸发源(为蒸镀材料的蒸发提供热量)。 基片(即被镀工件，在它上面形成蒸发料沉积层)，基片架(安装夹持基片)。 加热器。;蒸发成膜过程是由蒸发、蒸发材料粒子的迁移和沉积三个过程所组成。;? 在真空容器中将蒸镀材料(金属或非金属)加热，当达到适当温度后，便有大量的原子和分子离开蒸镀材料的表面进入气相。 ? 因为容器内气压足够低，这些原子或分子几乎不经碰撞地在空间内飞散， ? 当到达表面温度相对低的被镀工件表面时，便凝结而形成薄膜。;;;2．蒸发镀用途;2．蒸发镀用途;二、 溅射镀膜; 溅射镀膜;二极溅射是最基本最简单的溅射装置。 在右图的直流二极溅射装置中，主要部件为 靶(阴极)、工件(基片)和阳极。;1．基本原理;;溅射镀膜的基本过程;阴极溅射时溅射下来的材料原子具有10～35eV的动能，比蒸镀时原子动能（0.1～1.0eV）大得多，因此溅射镀膜的附着力也比蒸镀膜大。 ;2．溅射镀膜的特点;3．溅射镀膜工艺与应用;3．溅射镀膜工艺与应用;太阳能真空管一般为玻璃双层同轴结构，采用高硼硅3.3特硬玻璃制造，在内管外壁采用磁控溅射镀膜技术，溅射选择性吸收涂层，如铝、纯铜、不锈钢或铝氮铝(AL-N-AL)等。如铜、不锈钢、氮化铝三靶干涉膜真空