JY-T 0583-2020聚焦离子束系统分析方法通则.pdfVIP

犐犆犛０３．１８０ 犢５１ ／ — 犑犢犜０５８３ ２０２０ 犌犲狀犲狉犪犾犪狀犪犾狋犻犮犪犾狉狌犾犲狊犳狅狉狋犺犲犳狅犮狌狊犲犱犻狅狀犫犲犪犿狊狊狋犲犿 狔 狔 ２０２００９２９ ２０２０１２０１ ／ — 犑犢犜０５８３ ２０２０ 　 ， 。 ３．１．２ 　 ， 。 ３．２ 　 、 、 。 ４ 　 ４．１ 　 ， ； ２０℃±５℃ ４．２ 　 ７０％； ４．３ 　 ， ， ， ； ２２０Ｖ±２２Ｖ５０Ｈｚ±０．５Ｈｚ ３８０Ｖ±３８Ｖ５０Ｈｚ±０．５Ｈｚ ４．４ 　 ， ； ５Ω ４．５ 　 （ ）； ５ ｍ ５Ｈｚ ２０Ｈｚ μ ～ ４．６ 　 －６ －７ ； ， 。 ３．５×１０ Ｔ ＳＴＥＭ ３×１０ Ｔ ５ 　 ５．１ 　 （ ）、 （ ） （ ） 。 ５．２ 　 ５．２．１ 　 、 、 ， ，