2020典型激光器介绍教材.pptVIP

31 如果使用蓝绿波段高反射的反射镜，则所有这些谱线都会同 时出现。通过使用棱镜，可以选择其中某个波长。 如果放电电流足够大，则可能在双电离氩离子上产生激光， 光谱范围位于紫外 300-386nm 。 氪离子激光器 与氩离子激光器构造基本相同，激光介质为氪 气，其产生的谱线除了蓝绿光以外在红外和紫外波段都有。 32 33 准分子激光器 ? 准分子是一种在激发态结合为分子，在基态离解为原子的 不稳定缔合物。（ Excimer ） ? 跃迁发生在束缚的激发态和排斥的基态之间。 ? 高重复率 , 可调谐 ? 量子效率高 ? 波长短，紫外到可见区 ? 常见准分子激光器如： KrF ： 249nm ； XeCl ： 308nm ； ArF ： 193nm 。 34 典型激光器 1 、 常见激光器概述 ? 按激光工作介质： – 固体激光器 ( 光纤激光器） – 气体激光器 – 半导体激光器 – 染料激光器 – 自由电子激光器 激光器的分类 ? 按化学组成： – 原子激光器 – 分子激光器 – 离子激光器 – 自由电子激光器 – 准分子激光器 已记录到的激光振荡波长有一万种以上。 ? 激光运转方式 : – 连续 – 脉冲 ? 单脉冲 ? 重复频率 ? 准连续 ? 激光调制方式 – 自由运转 – 调 Q – 锁模 1. 固体激光器 分为晶体和玻璃两类，在基质材料中掺入激活离 子而制成。 目前已实现激光振荡的不同基质 —— 掺杂体系的 工作物质有 200 多种，但是，性能好，使用广泛的主 要有下面三种。 （ 1 ）钕玻璃激光器 在玻璃中掺入稀土元素钕做工作物质 ? = 1.053 μ m 由于可获得大体积均匀性良好的钕玻璃，因而可制成大 型器件，获得高能量和功率的激光，现已制成输出功率 10 14 W 激光器。 （ 2 ）红宝石激光器 0.1nm ~ 0.01 3nm 694 ? ? ? ? ? . 工作方式：连续、脉冲 发 散 角 ： ? ? 10 -3 rad ，一般为多模输出； 泵浦功率 阈值 10~20%→ 单模 工作物质：红宝石晶体 输出波长： 输出线宽： （ 3 ）掺钕钇铝石榴石（ Nd :YAG ） 输出波长： ? = 1064nm 、 914nm 、 1319nm 工作方式：连续、高重复率脉冲 工作物质： YAG 晶体内掺进稀土元素钕 因可掺进较高浓度的钕，故工作物质单位体积能提供较高 的激光功率，激光器也可作的比较小，若半导体激光器作泵浦 源的器件体积更小。 2. 气体激光器 工作物质 : 各种混合气体，光学均匀性好。 气体激光器在单色性、光束稳定性方面比固体、半 导体、液体激光器优越。 谱线已达数千种 (160nm~4mm) 工作方式：连续运转（大多数） 多数气体激光器有瞬时功率不高的弱点。 原 因 ： 通 常 气 体 气 压 低 ， 单 位 体 积 内 粒 子 数少。 （ 1 ）氦 - 氖激光器 工作物质：氦氖混合气体 激光由氖原子发射，氦气起改善气体放电条件， 提高激光器输出功率的作用。 输出波长：常用的为 ? =632.8nm 根据选择的工作条件激光器可以输出近红外、 红光、黄光、绿光。 （ ? =3.39 μ m ； ? =1.15 μ m ） （ 2 ） CO 2 激光器 工作物质： CO 2 、 He 、 N 2 、 Xe 的混合气体 激光由 CO 2 分子发射，其它气体协助改善激 光器的工作条件，提高激光器输出功率水平和使用 寿命。 输出波长： ? =10.6 μ m CO 2 激光器是输出 功率最高的气体激光 器，有连续输出 50kW ； 脉冲输出 10 12 W 的激光 器。 （ 3 ）氩离子气体激光器 输出波长： ? =488nm ； ? =514.5 nm ； 在可见光区输出功率最高，输出功率从几瓦 ~ 几百瓦。 氩 / 氪离子激光器， Stabilite 2017 Argon/Krypton Ion Laser 氮分子激光器 VSL- 337ND-S Nitrogen Laser 脉冲放电激励输出紫外光，峰值功率可达数十兆瓦， 脉宽小于 10nS ，重复频率数十 Hz~ 数千 Hz ，主要用作染 料激光器的泵浦源，也可用于光谱分析、检测、医学及 光化学方面。常见波长： 337.1nm 、 357.7nm （ 3 ）氮分子激光器 3. 半导体激光器 特点：体积最小、重量最轻，使用寿命长，有 效使用时间超过 10 万小时。 输出波长范围：紫外、可见、红外 输出功率： mW 、 W 、 kW 。 由不同组分的半导体材料做成激光有源区和约束区的 激光器。 DFB 半导体激光器示意图 DBR 半导体激光器示意图 垂直腔面发射半导体激光器（ VCSEL ） 量子级联激光器 (quant