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TFT— LCD 用玻璃基板 发展现状及趋势 李 超 随着科学技术的进步和信息技术的迅猛发展， 具有质量轻，图像细腻、清晰，色彩丰富、 自然、逼真等优点的薄膜晶体管型液晶显示器（即 TFT-LCD ）正逐渐取代传统的阴极射线 管（CRT）显示器，预计未来几年将成为显示器的主流产品。 TFT-LCD 是在无碱超薄玻璃上 印刷微电子电路，主要特点是在每个像素（像素就是一些能够发出彩色光线的小点）配置一 个半导体开关件，每个像素都是一个相互隔离的独立的晶体管，可以通过点脉冲直接控制， 因而每个节点相对独立，并可连续控制，这样不仅提高了反应时间（一般可以达到 80ms 左右），同时在灰度控制上可以做到非常精确，这就是 TFT 色彩更为逼真的原因。 TFT-LCD 是由偏光板、液晶面板，另外再加上背光源组成的。制作一片液晶面板需要 两片玻璃基板，分别作为底层玻璃基板和彩色滤光片板使用。虽然玻璃基板只占 TFT-LCD 原材料成本比重的 6% 左右，但却是最最重要的元件。 TFT-LCD 生产线更新换代必须以玻璃 基板厂家提供新一代生产线所生产的玻璃基板为前提，否则一切都是空谈。 一、 TFT-LCD 用玻璃基板的发展现状 玻璃基板又称素玻璃，是超薄、超平滑、超精细无碱硅酸铝玻璃，其碱金属总含量要求 在 0.1% 以下。自 90 年 T F T- L C D 产业由日本第一代产品的生产 , 发展到目前康宁公司正 在研制的第七代产品所使用玻璃基板已经历了七代。玻璃基板的切割片数有一个最佳经济 值，达到这个值以上意味着较高的生产效率，业界公认的经济切割片数是 6，按照玻璃基板 尺寸的大小划分生产线属于哪一代。 （见表一） 表一 单位： mm 世 代 第一代 第二代 第三代 第四代 第五代 第六代 第七代 300 × 730 × 1300 × 1500 × 1870 ×2200 对应尺寸 370 × 470 550 ×650 400 920 1200 1800 目前在商业上应用的玻璃基板 ,主要厚度为 0.7 m m 或 0.6 m m, 并且已经进入更薄厚度 (如 0.4 m m ) 的研制开发阶段。 主要应用于液晶桌面显示器、 笔记本电脑以及液晶彩电的面 板制作中。 由于 TFT-LCD 模组在制造过程中需要真空蒸镀与刻蚀，因此玻璃基板必须耐高温、耐 强酸强碱；同时考虑重量和厚度，玻璃基板必须非常薄，尤其对应大尺寸后，玻璃基板如果 过厚，就会增加不少重量；玻璃基板要求高透光性，否则影响画面质量，所以必须要在无尘 室中生产；玻璃基板还要高平整度，其平整度要求比硅晶圆还要高。鉴于玻璃基板生产技术 的高度复杂与高深， 全世界只有很少的 4 家公司能够制造玻璃基板， 分别是美国康宁、 日本 旭硝子、日本电气硝子、日本板硝子。据初步统计，截止 2004 年底全球 TFT-LCD 用玻璃 基板生产能力达 6050 万 m 2/ 年。其中康宁共有 23 座 TFT-LCD 用玻璃基板熔炉， 生产能力可达 3150 万 m 2 / 年；日本旭硝子共有 4 座熔炉，生产能力可达 1400 万 m 2 / 年；日本板硝子共有 6 座熔炉，生产能力为 900 万 m 2/ 年；日本电气硝子共有 5 座熔炉，生产能力为 600 万 m 2/ 年。 目前，我国大陆还没有厂家能生产 TFT-LCD 用玻璃基板，所用玻璃基板全部依赖于进口。据报载， 2003 年 7 月，山东力诺集团与德国 EPT 公司合作开发生产 TFT-LCD 用玻璃基板。如果合作成功，将结束我国玻璃基板全部依赖进口的局面，有利于完善我国液晶显示器行业的产业链，实现 LCD 上游原材料（玻璃基板）的国产化，推动中国显示器产业的发展。 2003 年 5 月有报道称，广东汕头金刚玻璃科技股份有限公司，研发 TFT 无碱玻璃基板 取得成功，并已申报国家发明专利。只是完成实验室研制，距离工业化生产还有很远的路要 走。此外，2004 年 12 月 23 日上海广电集团 (SVA)与日本 NEC 表示，双方将成立一家合资公司生产液晶显示器用玻璃基板， 总投资为 1,146 亿日元 (约 11 亿美元 )，于 2005 年 10 月建成投产，月产玻璃基板 4.5 万片，这将成为我国首家玻璃基板生产厂。 二、 TFT-LCD 用玻璃基板的生产方法 到目 前 为 止 , 生产 平面 显 示器 用玻 璃 基 板主 要有 三 种技 术 , 分别 为浮 法 (Float Technology ), 狭 缝 下 引 法 (Slot Down Draw) 及 溢 流 熔 融 法 (Overflow Fusion Technology) 。（对比表见表二） 1、浮法 浮法是目前最着名的、应用最广泛的平板玻璃制造技术 ,该