10PECVD生产操作规程幻灯 .pptxVIP

PECVD生产操作规程;1 安全警告;2 安全与标识; ;3 开机;3.1 开总电源; ;3.2 启动计算机;3.3 检查冷却水; ;3.4 检查气源;3.5 启动“system”程序;4 选择工艺单、生产;4.1 开真空泵，预加热;4.2 启动指定工艺;4.3 检查工艺运行情况;4.4 传动状态测试;4.5 进行工艺调试，生产;5 停机;5.1 停止工艺运行;5.2 关墙壁气箱中特气阀，特气管路吹扫;5.3 关掉真空泵，向腔体冲入N2;5.4 退出控制程序，关主电源;5.5 关上压缩空气、氮气、冷却水;? ? ;6/17/2020;? Figure 10: Process chamber ; ;6/17/2020;6/17/2020;6/17/2020;6/17/2020;6/17/2020;6/17/2020;6/17/2020;; PECVD生产操作规程;9、春去春又回，新桃换旧符。在那桃花盛开的地方，在这醉人芬芳的季节，愿你生活像春天一样阳光，心情像桃花一样美丽，日子像桃子一样甜蜜。6月-206月-20Wednesday, June 17, 2020 10、人的志向通常和他们的能力成正比例。08:53:1508:53:1508:536/17/2020 8:53:15 AM 11、夫学须志也，才须学也，非学无以广才，非志无以成学。6月-2008:53:1508:53Jun-