半导体器件应用基础：器件基本结构 MIS.pptVIP

金属－绝缘体－半导体结构Metal-insulator-semiconductor 什么特性？What？ 1、电压感应电荷； 2、电容随电压变化； Why？ 金属 绝缘体 半导体 理想MIS结构：1.在任何偏置条件下，电荷仅存在于半导体内及靠近绝缘层的金属表面上，它们数值相等、符号相反，也就是说，不存在界面陷阱和其它氧化层电荷；2.在直流偏置条件下，没有通过绝缘体的载流子输运，即绝缘体的电阻率为无穷大；3.为了简化，假设选择的金属功函数和半导体功函数之差为零。 + - M I S 金属 绝缘体 p-半导体 + + + + + + + + + + - - - - - - - - - - - - - - - 耗尽 + + + + + + + + + + - - - - - - - - - - - - - - - 反型 - + M I S 金属 绝缘体 p-半导体 + + + + + + + + + + - - - - - - - - - - - - - - - + + + + + + + + + + - - - - - - - - - - - - - - - 积累 理想MIS电容 M I S MIS电容曲线