溅射镀膜操作作业流程.docVIP

JGP-560C双室磁控溅射沉积系统操作规范 系统气路图图: 一、前期准备： 打开循环水（循环水能立即降温，关键是抽水泵能正常工作），打开墙上电源，打开总电源，打开控制电源 注：循环水有效降温一样是维持试验条件稳定和试验参数进行有力保障。其关键影响设备是抽水泵。所以在确定水箱充有足够水前提下还要确保泵正常工作。 抽真空： 1.开机械泵开关； 开旁抽阀V1（V7），开复合真空计，对溅射真空室（进样室）进行抽真空（粗抽真空）； 3.当气压低于20 Pa时，关旁抽阀V1（V7）； 开电磁阀DF1（DF2），开闸板阀G2（G3），开启分子泵T1（T2）； 5.开电离真空计（细抽真空）。 注：真空区域可划分为五类： 粗真空区域 1.103×105Pa—1.3×103Pa 低真空区域 1.3×103Pa—1.3×10-1Pa 高真空区域 1.3×10-1Pa—1.3×10-6Pa 超真空区域 1.3×10-6Pa—1.3×10-12Pa 极高真空区域 ＜1.3×10-12Pa 这种气体量改变也会对各类生产过程产生很大影响。对镀膜过程也不例外。比如物质在真空中沸点比在大气中低，在真空条件下能够降低物质大量蒸发所需温度，所以在真空镀膜室内镀膜材料能够在较低温度下大量蒸发。在低真空区域中氧气对应少了，物质被氧化可能性大大变小，所以真空镀膜时能够