二次配系统简介说课讲解.docxVIP

上海盛剑环境系统科技有限公司 上海盛剑环境系统科技有限公司 上海盛剑环境系统科技有限公司 上海盛剑环境系统科技有限公司 制程二次配排气系统简介 刘庆磊 2024年8月27日 A制程排气供应系统 1?系统介绍 技术说明 施工准备 施工技术要求 上海盛剑环境系统科技有限公司 上海盛剑环境系统科技有限公司 上海盛剑环境系统科技有限公司 上海盛剑环境系统科技有限公司 上海盛剑环境系统科技有限公司 ―一三?三 I系统介绍: 制］ 程I 排I 气! 系I 统I I 由制程机台至主管支管之间连接风管，统称二次配排气风管(Exhaust HooZp Ducting)工程；其主要是将制程机台所产生之各种废气(例如酸碱性 废气、挥发性有机废气、一般性废气等等)经由二次配排气风管排至排气支管、 主风管等再导入废气处理设备处理，处理后废气再排放至大气中的整个排气系 统过程。 洗 rm ntn 製程機台 製程機台 塔 n 1 —— :严九气工严广亠二 丄證ii Plj J 1 —1Tb—— ■ 1 1 1 // 1 t T 1 , ■ ol ―* - 1 I 制程排气的目的：在产品制造过程中，无可避免地必须使用不同种类的化学 I物质，为了提高产品的良率，必须精密控制产品所接触环境的空气质量。而制程 I排气系统(Exhaust System),虽非制程生产所需设备，但却是为生产区域营造一 制丨个可供生