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检漏仪的使用方法 HELIOT MODEL-301 ANA TP TV1 CLV CL CMP TV2 VV TV3 R P PiG 一 . 检漏仪的原理 : 通过检漏介质 — 氦气 , 如果测试腔体有漏 , 氦 气就会由腔体漏入，经过管道和抽气系统 进入检漏仪 . 氦气从检漏仪里的校准漏孔出 来，再经过离子源和分析管将氦气分子离 化为离子 , 并将其它离子离化并中合，只让 氦离子通过，并将电离值转化为数字量， 如果这个值有明显的上升 , 就表明有漏了 . 二 . 检漏仪的使用方法 : 首先确认与检漏仪接在一起的检漏腔体的 真空压力是否在 50Pa 以下 ; 接通检漏仪的电源，按下检漏仪的 MAIN POWER 开关； 出现“ PUSH START” 按钮时，按下检漏 仪的“ START/STOP” 按钮； 检漏仪进入自检状态，其过程为： Pumping→Zero→He Top→Fine→Mid→Grs→Zero →Standby→Test; 缓慢打开检漏仪上的手动阀门，等控制手 柄上的数据稳定后开始检漏； 测试完毕，先关闭检漏仪的手动阀门，再 按下控制手柄上的“ Vent” 的按钮； 关闭检漏仪上的“ START/STOP” 按钮， 等 5 秒后，关闭检漏仪上的 MAIN POWER 开关。 三． 氦气的特性： 略比氢气重一些的惰性气体。渗透性比较 强。由于氦气比较轻，打出后总是向上走， 所以检漏的顺序应该是从上往下的顺序， 气体比较贵，因此气量尽量开的小一些。 四． 检漏的方法： 1 ．使用氦质谱检漏仪： ①确定大致范围； ②逐一排除怀疑的漏点（用自封带，胶 带，油脂和酒精等）； ③找出漏点的最大处（最终确定漏点的 最小范围）； 2 ．使用酒精检漏（看真空计的变化，漏点 可具体化，但灵敏度不高）； 3 ．使用探伤剂（渗透剂和显影剂，对于 找出的怀疑漏点，使其显现出来）； 4 ．超声波和 X 射线等（检漏成本较高， 不易广泛采用）。 五． 检漏仪的面板说明： ?