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多晶硅太阳电池的制绒工艺及安全生产 　　摘 要：为了提高多晶硅电池的转换效率，降低大规 模生产的成本，生产中进行制绒工艺是一种很有效的办法。 本文介绍了相关的工艺流程和制绒原理，根据实际生产，给 定了相应的制绒工序工艺要求和其流程的基本操作。 　　关键词：多晶硅；制绒；陷光原理；减反射 　　世界能源形式紧迫，已经成为世界十大焦点问题之首。 预计到 2050 年，全世界人口总数预计将达到 100 亿，按 GDP 增长 1.6%/人?年 GDP 单位能耗按每年减少 1%，则能源需 求装机大约达到 30-60TW 。世界上潜在的水能资源约 4.6TW ，而经济可开采的资源大约只有0.9TW ，风能实际可 开发资源仅约 2-4TW ，生物能 3TW （总计8TW ）；太阳能潜 在资源 120000TW，实际可开采资源达到 600TW，所以，太 阳能是唯一能保证人类未来需求的能源来源。 　　哥哈本会议后，从美国到欧盟等各个发达国家已经把新 能源和节能提高到社会和经济发展的战略高度，中国政府也 在 2009 年的国务院文件中提出要加大对新能源等战略性新 兴产业的金融支持，可以预见，未来光伏产业将受到更多政 策倾斜。太阳能电池，又称光伏器件，是一种利用光生伏特 效应把光能转变为电能的器件，是太阳能光伏发电的基础和 核心。 　　1 多晶硅太阳电池现状与产业链 　　目前，硅太阳电池占太阳点成本的绝大部分（94% ）[1] 太阳能电池分为单晶电池和多晶电池，但是它们的结构基本 一样，都有以下部分组成。 　　多晶硅具有比单晶硅相对低的材料成本，同时多晶硅片 具有跟单晶硅相似的光电转换效率，多经过电池将进一步取 代单晶硅电池市场。提高太阳能电池的转换效率和降低成本 是改进硅光电池的两个主要方面[2]。 　　2 太阳能电池片生产工艺流程 　　清洗与制绒目的是去除硅片表面的机械损伤层及表面 油污，形成起伏不平的绒面，增加硅片对太阳光的吸收。单 晶硅电池的原理是利用碱溶液对单晶硅各个晶面腐蚀速率 的不同，在硅片表面形成类似金字塔状的绒面，其反应式为： 　　Si+2NaOH=NaSiO3+2H2 　　多晶硅电池是利用硝酸的强氧化性和氢氟酸的络合性 对硅片进行氧化和络合剥离，导致硅表面发生各向同性非均 匀性腐蚀，从而形成类似凹陷坑状的绒面，其反应式为： 　　Si+4HNO3+6HF=H2SiF6+4NO3+4H2O 　　3 制绒工艺 　　3.1 制绒原理 　　制备绒面的目的是去除硅片表面的机械损伤层，清除表 面油污和金属杂质，形成起伏不平的绒面，减少光的反射 增加硅片对太阳光的吸收，提高短路电流（Isc ），最终提高 电池的光电转换效率。其采用的陷光原理是当光入射到一定 角度的斜面，光会反射到另一角度的斜面，形成二次或者多 次吸收，从而增加吸收率。 　　3.2 制绒工序工艺要求 　　⑴片子表面 5S 控制。不容许用手摸片子的表片，要勤 换手套，避免扩散后出现脏片。 　　⑵称重。每半小时都要做腐蚀深度检测，不允许编造数 据，搞混批次等。要求每次测量 5 片。放测量片时，把握均 衡原则。每道放一片，便于检测设备稳定性以及溶液的均匀 性。 　　⑶刻蚀槽液面的注意事项。正常情况下液面均处于绿色 如果一旦在流片过程中颜色改变，立即通知工艺人员。 　　⑷产线上没有充足的片源时，工艺要求。停机 1 小时以 上，要将刻蚀槽的药液排到 tank ，减少药液的挥发。 　　停机 15 分钟以上要用水枪冲洗碱槽喷淋及风刀，以防 酸碱形成的结晶盐堵塞喷淋口及风刀。 　　停机 1h 以上，如有假片，要跑假片；如果没有假片 先每道放一片正常片以观察腐蚀量，并做相应调整；且要在 生产前半小时用水枪冲洗风刀处的滚轮，杜绝制绒后的片子 有滚轮印。 　　⑸前清洗到扩散的产品时间。最长不能超过 4 小时，时 间过长硅片会污染氧化，到扩散污染炉管，从 而影响后面 的电性能及效率 　　3.3 制绒工艺流程的基本操作 　　工作时必须穿工作衣、鞋，戴工作帽和两层手套：内层 为棉手套，外层为 PVC 手套，每班次更换 4 次，每 3 小时更 换一次； 　　准备好承载盒、海绵条、美工刀、装片记录以及工序流 程卡。查看配料单，确认原材料信息以及数量，并填写装片 记录和工序流程卡（一区）。 　　检查硅片周转箱确认包装无撞击破损后打开，取出硅片 包装盒，在装片记录上记录相关信息。将硅片的分批按顺序 整齐摆放在台面上，并将工序流程