考夫曼离子源.docx

考夫曼离子源 版本：0.1 创建时间：2013-1-12 创建人：谢云 0 阳极 7.厢欄 B. Un诞厠 9,呷和灯牝 图1离子源结构 图2离子源参数 阴极 阴极电流表示的是阴极加热电流，在一定范围内，阴极加热电流越大，放电电流越大，放电电流增加引起放电等离子体中离子密度及电子温度增加， 使离子 束流增加。但阴极电流增加到一定程度时，放电电流不会再增加，这是因为堆积 在阴极附近的电子会阻止阴极上的电子离开阴极到达等离子体。 由于空间电荷对 阴极发射的限制会大大提高灯丝的加热温度，减少阴极灯丝的寿命，这是需要避 免的。为此，可以适当加大放电电压及放电室气压来避免阴极发射的空间电荷限 制。 阳极 在使用时往往把阳极电压调高，如 60?70V,这样容易起弧且能获得较大的 放电电流。在离子源起弧后约 35?40V的放电弧压所产生的离子基本上是单荷 离子A叶，理论上出现双荷离子 A叶+的电压约48V左右。因此60?70V的放电 电压会使双荷离子数量增加到占总离子数的 10?20%左右，双荷离子具有单荷离 子两倍的能量，在60?70V时为120?140 eV。离子源中所有材料的溅射阈值一 般为20?35eV，35?40eV的A叶在离子源内部不会产生明显的轰击阴极灯丝的 溅射。在40?140eV能量范围溅射额随离子能量迅速增加。10?20% A叶+的以 120?140eV能量轰击灯丝表面，溅