特气系统报告幻灯片.ppt

;ALS 2.0;类别;氣體;1.3 气体供应方式 ;GR;1.5a 特气系统流程图;1.5b 特气系统流程图;1.5c 特气系统流程图;1.5d 特气房间平面图;1.5c 特气系统供应能力;功能; ▼气体依化学性质分类如下: 惰性气体(Inter gas): N2-----使用GR (Gas Rack) ▼易燃易爆性气体(Flammable gas): SiH4, NH3-----使用BSGS (Bulk special gas supply system) 供应 目前厂区钢瓶供应方式: ;1.7气瓶柜之操作功能;;钢数;2.1a 三钢式气瓶柜;2.1b 三钢式气瓶柜;2.2低压气体供应???计重点;2.3空间设计;2.4电力系统设计;2.5气瓶柜功能设计; 不相容气体不可设计在同一气瓶柜 不相容气体的purge管路不可相连 考虑使用压力与流量之需求 CGA接头需与钢瓶接头同一型号 盘面零件需考虑钢瓶高度 依照气体特性选择适当零件 如腐蚀性、高压/低压 注意管路死角purge的问题 考虑未來零件更换的方便性;2.6重要的管路组件;2.7气瓶柜安全防护设计;排气管; 气瓶柜內可能漏气处(例如:钢瓶头、压力调整器、压力控制器…等)提供至少0.51 m/sec风速 ;2.91气瓶柜的紧急关断时机;停止气瓶柜供气 由气瓶柜将一次侧管路Vent并Purge干净 充填PN2保压 记录钢瓶出口压力值与机台供应压力值 关闭控制箱之電源断路器 确认钢瓶阀关闭 关断气体供应室相关电力;气体室裝侦烟感知器 可燃性气体加裝UV/IR火焰侦测器 可燃性气体加裝消防洒水头 Cl2：因会与水起激烈反应，不可安裝喷水头 与自动广播系统连线 气体室环境可考虑加裝「极早期火焰預警侦测器;测试项目;;输送距离之考量 气体使用点之最佳规划 气体预留扩充点之评估 安全性之考量 紧急遮断系统 管路位置设计 使用与维护之设计 双套管需求;3.2管路流速与用量之设计;3.2双套管设计重点与优缺点;设计方式;減少滯留点：环状配管、purge机构 減少焊接点：规格化、bulk valve、拔曲成型管 減少弯曲点：bulk valve、拔曲成型管 焊接點之位置：支架阀基、管路途径 管路行径之环境：耐震、耐蚀、外力、温湿度、药品、电气…等 减少接头：零件之耐久性 操作性：阀之位置、压力計、流量计、purge 维护性：零件之位置、检查、更换需容易，purge设计;测试项目;测试项目;VMB需裝設气体侦测器、抽气裝置 可设计同类或相容气体于同一阀盘 一般设计成4、8、10接点，供气至数个机台 需有独立的purge系统 PN2不建议由中央供应系统供应 可做为气体中间调压 可设定供气压力警报点(±5 psi) 机台维修时，能提供做为气体管路的隔绝功能 紧急状况如泄露、火灾、地震时，也可利用VMB之气动阀进行气体系统的自动分段隔离;3.2.1 VMB/VMP照片;3.2.2a 1进4出VMB;;;气体項目;;侦测方式;气瓶柜之风管 VMB之风管 制程机器台之风管(非制程气体排气管) 制程机台之周围环境 气体供应室的环境 备料钢瓶存柜 其他(有机械接点的位置);需符合气流的方向 需考虑侦测气体比空气轻或重 是否会受到非目标物之影响 是否会受环境污染物之影响 是否会受环境的温湿度之影响 是否会受电磁场之干扰 是否方便日后之维护;QA