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气敏陶瓷 Gas Sensing Ceramics 制作人： xxx 目录 一 发展气敏陶瓷的必要性 二 气敏陶瓷的定义 三 气敏陶瓷的分类 四 气敏陶瓷的结构及性能 五 气敏陶瓷的制备 六 典型的气敏陶瓷 七气敏陶瓷的应用 八 气敏陶瓷的发展前景 一、为什么要发展气敏陶瓷 ? 畜牧业温室气体的检测 随着现代科学技术的发展，人们所用的和接触到的气体越来 越多，因此要求对这些气体的成分进行分析，检测及报警的领域 也日益扩大。尤其是易燃易爆，有毒的气体，不仅直接与人们的 生命财产有关，而且危及到人类生存的大气环境，所以必须要对 这些气体进行严密检测，避免火灾，爆炸及大气污染等事故的发 生。 ? 突发中毒事件 二 气敏陶瓷的定义 气敏陶瓷，亦称气敏半导体是用于吸 收某种气体后电阻率发生变化的一种 功能陶瓷。它是用二氧化锡等材料经 压制烧结而成的，对许多气体反映十 分灵敏，可应用于气敏检漏仪等装置 进行自动报警 三、气敏陶瓷分类 ? 分为 半导体式 （主要）和固体电解质式两大类 ? 材料的成分分类： SnO 2 、 Z n O 、 Fe 2 O 3 、 ZrO 2 ? 效应分类： 表面效应、体效应 ? 制造方法和结构型式： 烧结型、厚膜型、薄 膜型。 三、气敏陶瓷分类 气 敏 陶 瓷 按 相 关 性 分 类 四、气敏陶瓷元件的结构及性能 ? 1. 具有物理和化学的稳定性 因为在利用半导体 陶瓷元件进行气体检测时，气体在半导体上的吸附必 须迅速。但一般的吸附在常温下比较缓慢，至少在 100 摄氏度以上才会有足够大的吸脱速度，为了保证 元件的灵敏度，必须要求元件在比较高的温度下工作。 由于在较高温度下长期暴露在氧化性或还原性气氛中， 所以需要有物理化学稳定性。 ? 2. 气体选择特性 ? 3. 初始稳定，气敏响应和复原特性 ? 4. 灵敏度及长期稳定性 ? 5. 初始电阻 四、气敏陶瓷元件的结构及性能 ? 直热式气敏陶 瓷 ? 热容量小，容 易受环境气流 的影响 四、气敏陶瓷元件的结构及性能 ? 旁热式气敏陶瓷 ? 灵敏度高，响应迅 速，机械强度高 ? 产量高，成本低 四、气敏陶瓷元件的结构及性能 ? 薄膜式气敏陶瓷 ? 制作采用蒸发或者溅 射的方法，在处理好 的石英基片上形成一 种薄层金属氧化物薄 膜，再引出电极 四、气敏陶瓷元件的结构及性能 ? 厚膜式气敏陶瓷 ? 将二氧化锡和氧化 锌等材料与 3~15% 重量的硅凝胶混合 制成能印刷的厚膜 胶，具有一致性好 ，机械强度高的优 点 五、气敏陶瓷的制备 气体与敏感陶瓷的作用部位通常只局限 于表 面 , 故其敏感特性 ( 如电阻值与被测 气体浓度的关 系 ) , 和敏感体的烧结形 式 ( 几何形状 ) 关系甚大。常 见的有薄膜 型、厚膜型和多孔烧结体型。气敏薄膜 的厚度一般为 10- 2 ～ 10-1 μ m, 可通 过化学气相沉积 或不同形式的溅射方式 来制备。厚膜的膜厚为几十 微米 , 采用 浆料丝网漏印烧结法制作。多孔陶瓷则 采用非致密烧结法制备之。 五、气敏陶瓷的制备 常见的气敏陶瓷很多 , 比较典型的有氧化锡 系、 氧化锌系、氧化铁系等。 SnO2 气敏 陶瓷为目前应用最广者 , 它是以 SnO2 为基 材 , 掺杂 Pd 、 Lr （铑）、 G a( 镓）、 CeO2 （二氧化铈） 等活性物质以提高其 灵敏 度。另外可添加 A l 2O3 、 Sb2O3 、 MgO 、 CaO 和 PdO 等添加物以改善其烧结、老化 及吸附等特性。 SnO2 气敏陶瓷对可燃性气 体 , 如氢、甲烷、丙烷、乙醇、丙 酮、一 氧化碳、城市煤气、天然气都有较高的灵 敏度。 五、气敏陶瓷的制备 ZnO 也是很重要的气敏陶瓷材料 , 其最突出的 优 点是气体选择性强。掺以 P t 和 Pd 催化剂后 , 可 提高其灵敏度。掺 Pt 后对丁烷和丙烷等气 体的灵 敏度高 , 而掺 Pd 的 ZnO 对氢和 CO 的灵 敏度高。 ZnO 与 VMoAl 2O3 催化剂组合后 , 检 测氟利昂 气体的灵敏度比一般的气敏传感器要 高。但长期使 用后 , 催化剂层将发生变化 , 连续 使用 400h 后会逐 渐退化 , 灵敏度开始降低。不 用催化剂的 ZnO 传感 器对氟利昂气体的灵敏