真空测量技术基础系列.docx

真空测量技术基础 经作者授权，版权所有归东北大学真空与流体工程研究中心与原作者共有。未经本中心及原著者同意,田可人或田可单位不得私自拷贝、刻录、传播、转载本讲义，或用于商业用途。 东北大学第七期 《真空技术》培训系列之 □ □ □ □ □ □ □七.真空测量技术基础（刘玉岱） □ □ A=V(yf^icr) A=V(yf^icr) A=V(yf^icr) A=V(yf^icr) 真空测量 A=V(yf^icr) A=V(yf^icr) 1真空测量概述 1 /J什么是真空测量 □ □ □ □ 1.1什么是真空测量 □ □ || 1 *2真空度的表征及单位 p = nkT n=p/(A3T) 1?3真空计分类  1.4真空计测量范围 真空计名称 测量范围（Pa） 水银U型管 1070 油U型管 104 ?1 光干涉油微压辻 1 ?10-2 压缩式真空计（一般型） 10-1 ?10-3 压缩式真空计（特殊型） 10-1 ?10-5 弹性变形真空计 105 ? 薄膜真空计 105 ?10-2 振膜軽辻 105 ?10-2 热传导真空计〈一般型） IO??10 热传导真空计（对流型） 1070  真空计名称 测量范围(Pa) 髙真空电离真空计 10-70-5 髙压力电离真空计 102 ?10-4 B —A计 宽量程电离真空计 10 ?1CP 放射性电离真空计 105 ?10-1 冷阴极磁放电真空计 1?1(戸 磁控管型电离真空计 10 2?10-11 热辐射真空计 10-1 ?10-5 分压力真空计 1().1 ?10?14 1.5真空测量特点 1.6选择真空计原则 □ □ □ □ □ □ 2全压力测量 z 1 u型管真空计 2 2弹性元件真空计 2 3压缩式真空计 Z 4热传寻真空计 2.5热阴极电离真空计 2 6冷阴极电离真空计 2.7电密式簿膜真空计 N3放射性电离真空计 9磁悬浮转子真空计 2. 1 U型管真空计 □ □ 2.2弹性元件真空计 1 ?指针2 ?齿轮传动机构：3 ?连杆 (a)弹簧管式 1 1 1 1 (b) 常赞管5.膜盒6.膜片7.螺纹接头8.外覺 (5)膜盒式 (c) 11片式 弹性元件真空叢的主姿特点如下3 □ □ □ □ □ 2.3压缩式真空计 I ?水银贮器2?玻璃泡3?测駅毛细管 5.刻度尺6.导管7.三通阀4?比较毛细管 □ □ 2.4热传导真空计 □ n,L-热丝半彳4和热线有效K度f厂浮壁半径Ti,?2-热 丝温度和管壁温度Qt.Qr. Q厂 解引线热传缶热刪怖 气体分子热传导散失的朋 □ □ TH? fxF p卫 船导靱弭加的縣 式中Pf^d—— 以于燥空气（或ffi/气）刻度的压 力计读数丿P日 如——-;彼测气体的实际压力丿旳 6——?皱测气体对空气的相对灵敢度 气体或蒸气 气体或蒸气 Sr 气体或蒸气 气体或蒸气 Sr o 1112 气休或蒸气 —氧化碳 0. 97 二氧化碳 0, 94 二氧化硫 0. 7 7 甲 烷 0. 61 乙烯 0. 8 6 乙 烘 t). 60 2.5热阴极电翦真空计 □ □ □ □ □ □ DL-2电离规 气体 对N?相对灵敏度Sr 112 0. 46 II e 0. 1 7 Ne 0. 25 A r 1?31 K r 1, 98 Xe 2. 71 N? 1?0 02 0. 95 co 1?1 I  气体 对N3相对灵敏度Sr C02 1. 53 T燥空气 1?0 II20 0. 9 II g 扩散泵油P 3?4 9- 13 II CI 0. 38 CII 4 1.26 CCU 0. 7 0 l^L-5 l^L-5规也极幼构国 I5L-S吗2规茜纭枸不恵阁 l^L-5 l^L-5规也极幼构国 I5L-S吗2规茜纭枸不恵阁 + Jtl S K A S 八.Alli赳i极 C?收集极 F?切极 八.力II趣极 K?切機 C?收生极 s? $iliHJj A FFFA (a) t式规 A F C FA (b)裸规 K，阴极A，加递极S，抑制极C，收集机 sh. m K. M A. m B. W K刪賊S川制 极「收魏sh. m =10r10 Rin Pirin =15门 ，环 ，环状阴极A，加遼桃「收集极 ?离子反射极S?丿#蔽极*调制 A?阳极K?阴极（：?收集极 S.辅助极B.磁场 F，灯丝C?收集极a. ill 1ft M .调制极 2?6冷阴极电离真空计 ⑴冷明极电离计结构原理图 (b)冷明极电离规管「?作原理图  \b S 5-10xV ? 1 ?阳极2.阴极3,辅助阴极 倒置磁控管式规管示意图 1,阳极2.明様3,辅助IM止磴控建式规淳结构示点图 2 .7电容式薄膜真空计 1. WWf 2. I貂卜偿电源3■低剜熾 4. mm