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项目主要耗电设备及能效水平表 序号 设备名称 规格 额定功 率（kW） 设备机组 能源利用 率（%） 运行 台数 1 外延炉31片机 G5（31片机） 120 85 60 2 外延炉56片机 Crius （ 56 片机） 175 85 40 3 光刻机 Suss (MA100e LED )/DNK(4200) 6.6 85 14 4 匀胶机 ELS3604FA/SVS(MSX 1000) 11.4 85 20 5 ITO蒸镀 FU-20PEB-ITO 38 85 8 6 ICP蚀刻机 oxford (133 ICP380) 34 85 6 7 金属蒸镀 富临(FU-20PEB) 38 85 6 8 介质膜蒸镀 富临(FU-20PEB-OPTO) 38 80 6 9 PECVD（增强型） oxford ( 800 plus ) 101 85 4 10 研磨机 Speedfam 24BSG-V 4 85 16 11 抛光机 Speedfam 29D/24GPAW 5.5 85 10 12 激光切割机 Disco DAL7020 1.5 85 28 13 点测机 MPI LEDA-8F-3GS 1 85 230 14 分类机（全点） ASM MS100 0.8 80 160 15 烘箱 上海精仪DHG-9030A 2.5 88 20 16 旋干机 2150C( 45 所) 3.6 88 24 17 清洗台 Acid001 (禾邑) 15 80 22 18 合金炉（4管） SJ-CA1200-D2 (森积) 35 85 6 19 退火炉 上海精仪DHG 40 90 20 20 烘烤炉 文生真空HBM-1000G 140 90 6  项目主要辅助耗电设备及能效水平见表 序号 设备名称 规格 额定 功率 (kW) 设备机组 能源利用 率(%) 运行 台数 1 制冷机 CVHG1100-716-297- I142L-1220-I142L-980 460 85 9 2 一次冷水泵 流量560m/h,扬程16m 45 85 9 3 二次冷水泵 流量560m/h,扬程20m 45 85 9 4 冷却水泵 流量800m/h,扬程28m 55 85 9 5 热水泵 流量280m/h,扬程32m 37 80 7 6 冷却塔水泵 流量350t/h 11 80 20 7 空调风机 3 风量 47000m/h，全压 2100Pa 55 83 10 8 空调风机 风量 22000mi/h，全压 2100Pa 15 83 20 9 MOCV热排风机 风量 32000mi/h,全压 10000Pa 55 83 6 10 制程冷却水泵 流量90m/h，扬程90m 37 80 26 11 空压机 3 无油螺杆，出气量 11.6m /m 75 85 3 12 吸附式干燥机 3 微热吸附式，12.7m/m，-40 ° 15 85 3 13 真空泵 3 400m/m， 33mbar( ABS 15 85 2 14 纯水机组 50m/h 200 80 1 15 尾气处理炉 Un isem Wet SCRUBBER W3000 20 85 35 16 氨气纯化器 EGPS12SKA 5 85 14