镀膜机操作规程.docx

镀膜机操作步骤 开机的程序：开水,开气，开电源,开冷阱T开机械泵T开预阀T 开扩散泵T关预阀T开低阀.（抽几分钟） 蒸镀前 : 开放气T开室门清理真空室T旋转坩埚T添加膜料T换比较片 T装镜片上盘（保证镜片表面干净，并且要放平）T关闭室门T关放气 -关预阀-开低阀-开工作电压为 30 v，烘烤电压为100 v （此时扩散 泵温度应为195度）-开复和真空计?当低真空到时（5.0Pa—关低阀- 开预阀-开高阀-开枪灯丝 熔料： 当高真空到时 （7.0E-3） -确保束流为零 , 挡板关闭-开高压-先 让灯丝聚焦的亮点在膜料中间-慢慢加束流 （ 三氧化二铝 220, 氧化锆 240, 氟化镁 60-70） -熔料后确保束流为零-关高压 . 蒸镀: 确保控制波长，光控电源都正常，—把工作电压为调为100v,调节 膜厚仪为膜料相应数值 ,旋转比较片 ,坩埚-先把膜料扫一遍 （加热 ）. 找到亮点时确保束流合适开挡板 （三氧化二铝 220, 氧化锆 240, 氟 化镁 30,） 镀的过程中时刻监视膜厚仪的变化 ＜跳动的幅度 ＞跟点的 位置.镀完后关束流为零 ,高压,挡板都关闭然关枪灯丝-后关工作电 压,烘烤电压 ,-关高阀-关复合真空计-开放气阀 （十分钟后 ）. 关机: 关光路电源，关膜厚仪，关放气阀-开低阀（抽5-6分钟）-关低 阀.等扩散泵温度为130-135度时就可关预阀，关机械泵.-关冷阱, 关气, 关总电源 , 关水, 空压机, 空气过滤机 . 欧阳学标 2007/3/30