基于光热效应的纳米焊接及其在三维纳米器件中的应用.pdfVIP

摘 要 焊 术是 建和组 器 一项 术。 本 纳米 接技 构 装功 性 米 件 的 其 ， 能 纳 关键技 低成 、 高 准 和无 触污染 优 使基于光 应 的激光纳米焊 术 到广 泛 精 度 接 等 势 热 效 接 技 受 关 注。 提 出 半导 进行 和连 、 米 底进 连 本文 对 体纳米线 熔断 接 对半导体纳 线 衬 行 接 和 界 激 术 激 器 ３ ００ Ｗ 的临 功率式 米 接技 ， 在 光 的最大功 内 了 根 光纳 焊 率 ｍ 实现 对单 纳米线 纳米到 纳米 、 形 各 的 断间 隙， 根纳米线 从几 几 百 尺寸和 态 异 熔 完成 了 两 形 成 的 Ｖ 、 Ｔ １ 米线结 的焊 并 仿 计 深入 验 形 形、 形纳 构 接， 利用 真 算更 地揭示 了 实 机理。 探 究 了 激光纳 焊 术连 不 同 底和 线的可 性， 米 接技 接 材料 衬 半 体纳米 行 实 导 现 了 半 纳 和 电极之 的 连 进行 了 试， 得 化硅 线的 导体 米线 金 间 电学 接并 测 到碳 纳米 ． １ ８１ ８ Ｑ。 证 电 阻约为 用 米 衬底的 接制造 悬 ， 验 了 其优 的 利 纳 线和 焊 纳米 臂 秀 机 定性 借 ＳＥＭ 焊 造 和 凹 械 。 观 米激 在衬底上 的 状 起 陷结 ， 稳 助 测纳 光 接 成 半球 突 构 ｍ 激